EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ҳалқаи сафолӣ 0200-35223
Ҳалқаи керамикии AMAT 0200-35223 як ҷузъи керамикии нимноқилии баландсифат мебошад, ки барои муҳитҳои пешрафтаи коркарди плазма ва таҳшинкунӣ тарҳрезӣ шудааст. Ин ҳалқаи керамикӣ, ки ба таври васеъ дар системаҳои коркарди нимноқилҳо истифода мешавад, ба танзими рафтори плазма дар дохили камера мусоидат мекунад ва ҳамзамон тақсимоти устувори майдони RF-ро дастгирӣ мекунад ва хатари ифлосшавиро ҳангоми равандҳои истеҳсоли вафлҳо коҳиш медиҳад. Дар Semixlab, мо дар истеҳсол ва таъмини қисмҳои эҳтиётии керамикии дараҷаи нимноқилҳо, ки барои барномаҳои плазмаи зичии баланд, камераҳои пешрафтаи коркарди вафлҳо тарҳрезӣ шудаанд, тахассус дорем. Интизори дархости шумо ҳастем.
Тавсифи
Ҳалқаи сафолии AMAT 0200-35223 ба категорияи ҳалқаҳои сафолии камераи плазмавии нимноқилӣ тааллуқ дорад, ки одатан ба системаҳои пешрафтаи кандакорӣ ва таҳшинкунӣ муттаҳид карда шудаанд. Аз ҷиҳати сохторӣ, он ҳамчун ҷузъи ҳалқаи дақиқ тарҳрезӣ шудааст, ки дар наздикии минтақаи коркарди вафл, одатан дар атрофи патрони электростатикӣ (ESC), минтақаи маҳдудкунии плазма ё минтақаи гузариши канори камера ҷойгир аст.
Гарчанде ки намуди зоҳирии он хурд аст, нақши он дар дохили камера хеле муҳим аст. Ҳангоми коркарди плазма, минтақаи канори вафл таъсири мутақобилаи мураккабро байни майдонҳои RF, траекторияҳои ионҳо ва тақсимоти зичии плазма аз сар мегузаронад. Бе танзими дурусти камера, ин таъсири мутақобила метавонад ба ноустувории раванд, номувофиқатии профили канор ва рафтори нобаробар ё таҳшиншавӣ оварда расонад.
Ҳалқаи керамикӣ ҳамчун интерфейси функсионалии назорати плазма байни пластина ва сохторҳои атрофи камера амал мекунад. Бо таъсир расонидан ба тақсимоти майдони электрикии маҳаллӣ ва устувор кардани шароити плазма дар наздикии канори пластина, он ба беҳтар шудани мутобиқати умумии раванди камера ва ҳосили пластина мусоидат мекунад.
Вазифаҳои асосии ҳалқаи сафолии 0200-35223
Яке аз муҳимтарин вазифаҳои Ҳалқаи сафолии 0200-35223 танзими канори плазма мебошад. Дар равандҳои пешрафтаи нимноқилӣ, зичии плазма дар наздикии канори вафл метавонад ба назорати андозаҳои муҳим, якрангии профил ва устувории умумии раванд таъсири назаррас расонад. Ҳалқаи сафолӣ ба идоракунии тақсимоти плазма дар наздикии минтақаи канор мусоидат мекунад ва инҳирофҳои равандро кам мекунад ва якрангии вафлро беҳтар мекунад.
Ин ҷузъ инчунин ба устувории майдони RF дар дохили камера мусоидат мекунад. Азбаски рафтори плазма бо тақсимоти импеданс ва ташаккули ғилоф зич алоқаманд аст, геометрия ва хосиятҳои диэлектрикии ҳалқаи керамикӣ мустақиман ба тақсимоти энергияи ионҳо ва самаранокии пайвастшавии плазма таъсир мерасонанд. Ин ҳалқаи керамикиро ба ҷузъи муҳими камераи бо RF муҳандисӣ сохташуда табдил медиҳад, на ба сохтори механикии ғайрифаъол.
Вазифаи дигари муҳим ҳифзи камера мебошад. Ҳангоми кори плазмаи зичии баланд, деворҳои камера ва ҷузъҳои наздик ба бомбаборони ионҳои хашмгин ва намудҳои реактивии плазма дучор мешаванд. Ҳалқаи керамикӣ ҳамчун монеаи муҳофизатӣ амал мекунад ва таъсири мустақими плазмаро ба сохторҳои ҳассоси камера кам мекунад ва ба дароз кардани мӯҳлати хидмати таҷҳизот мусоидат мекунад.
Илова бар ин, ҳалқаи сафолӣ стратегияҳои кам кардани зарраҳоро дар дохили камера дастгирӣ мекунад. Сафолҳои тозагии баланд бо рӯйпӯшҳои сатҳии оптимизатсияшуда ба коҳиш додани хатари ифлосшавӣ, ки бо пошидан, эрозия ва газҳои берунӣ алоқаманданд, мусоидат мекунанд, ки ин махсусан дар гиреҳҳои пешрафтаи нимноқилҳо, ки дар онҳо таҳаммулпазирии зарраҳо торафт сахттар мешавад, муҳим аст.
Хизматрасониҳо мо
