Пойдевори изолятори кварсӣ 300 мм

Пойдевори изолятории кварсии AMAT 300 мм (Қисм № 0200-14197) як ҷузъи кварсии бо дақиқӣ тарҳрезишуда ва тозагии баланд мебошад, ки барои истифода дар таҷҳизоти коркарди нимноқилҳои 300 мм, аз ҷумла системаҳои PVD, CVD ва плазмавӣ тарҳрезӣ шудааст.

Ҳамчун як унсури муҳими сохторӣ ва функсионалӣ дар дохили камера, ин ҷузъ дастгирии механикӣ, изолятсияи барқӣ ва изолятсияи равандро ба як ҳалли баландсифат муттаҳид мекунад. Он махсусан барои қонеъ кардани талаботи қатъии истеҳсоли пластинаҳои пешрафта таҳия шудааст, ки дар он устувории раванд, назорати ифлосшавӣ ва эътимоднокии таҷҳизот муҳиманд.

Дар Semixlab, мо ҷузъҳои поябанди кварсиро бо истифода аз кварси гудохташудаи ултра-баландсифат ва технологияҳои пешрафтаи коркард истеҳсол мекунем, то дақиқии аълои андозагирӣ, кори диэлектрикӣ ва устувории дарозмуддатро дар муҳитҳои сахти плазма таъмин намоем.

Чаро Semiconductor Semicera-ро интихоб кунед?

Semixlab таҷрибаи мавод, дониши равандҳои нимноқилҳо ва истеҳсоли дақиқро барои таъмини ҷузъҳои боэътимоди кварс барои фабрикаҳои пешрафта муттаҳид мекунад.

Бартарии мо:

● Назорати маводи кварсии тозагии ултра баланд

● Коркарди таҳаммулпазирии сахт барои андозаҳои муҳим

● Самаранокии исботшуда дар татбиқҳои пуршиддати плазма

● Ҳалли мувофиқ бо OEM барои платформаҳои AMAT

● Дастгирии устувори таъминот ва муҳандисии ҷаҳонӣ

Аризаи раванд ва мавқеи палата

Пойдевори изолятори кварц асосан дар равандҳои истеҳсоли нимноқилҳои фронталӣ, бахусус дар муҳитҳое, ки плазмаи RF, шароити баланди сӯзишворӣ ва коркарди вакуумӣ доранд, истифода мешавад.

Мавқеи палата

Ин ҷузъ дар қисмати поёнии камераи коркард, одатан дар зери ё атрофи маҷмӯи такягоҳи пластина (масалан, патрони электростатикӣ ё зинаи гармкунак) насб карда мешавад.

Он дар наздикии зерин фаъолият мекунад:

● Минтақаи коркарди вафлҳо

● Сохтори электростатикӣ (ESC) ё пояи педаль

● Минтақаҳои плазмавии бо RF коркунанда

Нақш дар меъмории таҷҳизот

Дар дохили системаи камера, пояи изолятори кварц ҳамчун интерфейси муҳим байни ҷузъҳои фаъоли барқӣ ва сохторҳои механикии заминӣ хизмат мекунад.

Мавқеи он ба он имкон медиҳад, ки:

● Элементҳои баландшиддат ё бо RF барқӣ ҷудо кунед

● Дастгирии якпорчагии механикии марҳилаи вафли

● Муҳити раванди устувор ва назоратшавандаро нигоҳ доред

Вазифаҳои асосӣ ва бартариҳои фаъолият

1) Изолятсияи барқӣ дар муҳитҳои плазмавии RF

Яке аз муҳимтарин вазифаҳои ин ҷузъ таъмини изолятсияи баланди диэлектрикӣ дар системаҳое мебошад, ки дар шароити таъсири RF ва плазма кор мекунанд.

● Аз ихроҷи барқ ​​ва роҳҳои ғайричашмдошти ҷараёни барқ ​​пешгирӣ мекунад

● Хатари пайдоиши камоншакл ва ноустувории плазмаро коҳиш медиҳад

● Тақсимоти мунтазами майдони RF-ро таъмин мекунад

Натиҷа: Такрорпазирии раванд ва бехатарии таҷҳизот беҳтар шудааст

2) Дастгирии механикӣ ва устувории сохторӣ

Ҳамчун як қисми васлкунии поя, компонент инҳоро таъмин мекунад:

● Дастгирии устувор барои системаҳои коркарди вафлҳо

● Дақиқии баланди андозагирӣ барои нигоҳ доштани ҳамоҳангӣ

● Муқовимат ба деформатсия дар давраи даври гармӣ

Натиҷа: Дақиқии беҳтаршудаи ҷойгиркунии вафл ва якрангии плёнка

3) Мутобиқати плазма ва назорати ифлосшавӣ

Ин ҷузъ аз кварси ултра-баландсифат истеҳсол шуда, пешниҳод мекунад:

● Сатҳи пасти ифлосшавии металлӣ

● Муқовимати аъло ба эрозияи плазма

● Истеҳсоли ҳадди ақали зарраҳо

Натиҷа: Кам кардани хатари ифлосшавӣ ва беҳтар шудани ҳосили вафл

4) Иҷрои изолятсияи гармӣ

Кварц табиатан дорои гузаронандагии пасти гармӣ мебошад, ки ба поя имкон медиҳад:

● Интиқоли гармиро байни сохторҳои гармкунак/ESC ва камера ҷудо кунед

● Профилҳои вафлиро устувор нигоҳ доред

● Ба ҳадди ақал расонидани фишори гармӣ дар дохили система

Натиҷа: Назорати беҳтари раванд ва дароз кардани мӯҳлати хизмати компонентҳо