Ҳалқаи дефлектор бо пӯшиши TaC

Ҳалқаи дефлектории бо пӯшонидашудаи TaC аз Semixlab як ҷузъи назорати ифлосшавӣ ва танзими ҷараёни ҳаво мебошад, ки барои муҳитҳои эпитаксияи нимноқилҳо ва равандҳои CVD тарҳрезӣ шудааст. Дар ин муҳитҳо, якрангии вафлҳо, устувории кимиёвии камера ва устувории мавод мустақиман ҳосилнокии истеҳсолӣ ва вақти кори таҷҳизотро муайян мекунад. Ин ҳалқаи дефлектор, ки аз ҷиҳати стратегӣ дар атрофи периферияи вафл ё сарҳади субстрат ҷойгир карда шудааст, ҳамчун дастгоҳи муҳими ташаккули ҷараёни газ ҳангоми афзоиши эпитаксияи Si, SiC ва GaN амал мекунад ва назорати дақиқро бар тақсимоти пешгузаштаи реактивҳо ва тавозуни майдони гармии сатҳи вафл имкон медиҳад.

Дар камераҳои эпитаксиалии ҳарорати баланд, ки дар онҳо гидроген, газҳои дорои хлор, карбогидридҳо ва аммиак дар ҳароратҳои наздик ё аз 1500 °C зиёдтар реаксия мекунанд, якпорчагии пӯшиши сахтафзори камера омили муҳим дар муайян кардани сифати плёнкаи тунук мегардад. Карбиди тантал (TaC), бо нуқтаи обшавии ултрабаланд тақрибан 3880 °C ва муқовимати истисноии кимиёвӣ, монеаи устувори муҳофизатиро аз вайроншавии мавод, пошидани сатҳ ё ифлосшавии металлӣ фароҳам меорад ва бо ин васила муҳити таҳшиншавии назоратшавандаро дар тӯли давраҳои тӯлонии истеҳсолӣ нигоҳ медорад.

Ҳалқаи дефлектор бо пӯшиши TaC тавассути механизми каҷ кардани ҷараёни ҳавои худ қабати сарҳадии газҳои реактивиро шакл медиҳад ва устувор мекунад, тағйироти ғафсии канорҳоро кам мекунад, ҷамъшавии плёнкаи бисёрқабатаи паразитиро маҳдуд мекунад ва пластинаро аз олудашавии зарраҳо, ки аз деворҳои камера ё фарсудашавии сахтафзор ба вуҷуд меоянд, муҳофизат мекунад. Ин устувор кардани градиенти суръати ҷараёни ҳаво барои кам кардани нуқсонҳои эпитаксиалӣ, ба монанди ҷойгиршавии ҳамвории асосӣ, нуқсонҳои ҷамъкунӣ, пайдоиши сӯрох ва нобаробарии канори плёнка муҳим аст.

Дар модулҳои раванди CVD ва ALD, таъсири такрории прекурсорҳои зангзананда ва муҳитҳои бо плазма такмилёфта метавонад ба зангзании ҷузъҳои коркарднашудаи камера оварда расонад, дар ҳоле ки сатҳи пӯшонидашудаи TaC ҳамчун сипари аз ҷиҳати кимиёвӣ инертӣ амал мекунад, тозагии камераро нигоҳ медорад, басомади нигоҳдориро кам мекунад ва арзиши умумии моликиятро барои корхонаҳои истеҳсоли вафлиҳои ҳаҷми баланд коҳиш медиҳад. Микросохтори зич ва пастсӯрохии пӯшиш рехтани зарраҳоро кам мекунад ва аз шикастани кристаллҳои аз зарбаи гармӣ ба вуҷуд омада пешгирӣ мекунад ва давраҳои кори пайвастаро бидуни вайрон кардани якпорчагии камера ё тозагии вафли имконпазир месозад.

Ҳалқаҳои каҷкунии бо пӯшонидашудаи Semixlab TaC мувофиқи стандартҳои часпиши назоратшавандаи пӯшиш ва тасдиқи метрология истеҳсол карда мешаванд, то қувваи часпиши доимӣ, якрангии ғафсӣ ва мутобиқати равандҳоро дар платформаҳои гуногуни кӯраи эпитаксиалӣ ва плёнкаи тунук таъмин кунанд. Бо омезиши самаранокии мавод, муҳандисии ҷараёни газ ва тарҳрезии ба эътимоднокӣ нигаронидашуда, маҷмӯаҳои ҳалқаҳои каҷкунии бо пӯшонидашудаи Semixlab TaC ба унсури калидӣ дар ноил шудан ба самаранокии дарозмуддати истеҳсолот, ҳосилнокии баланди вафлҳо ва устувории амалиётӣ дар истеҳсоли нимноқилҳои насли оянда табдил ёфтаанд. Мо самимона интизори шарики дарозмуддати шумо дар Чин ҳастем.