SiC Ceramics

Сафолҳои SiC дар таҷҳизоти нимноқилӣ бештар ва бештар истифода мешаванд, асосан аз он сабаб, ки онҳо дар шароити сахттар беҳтар нигоҳ медоранд. Вақте ки ҳарорат баланд мешавад ё раванд хашмгинтар мешавад, маводҳо ба монанди кварц ё кремний метавонанд маҳдудиятҳоро нишон диҳанд ва одатан дар ин ҷо SiC ба кор меояд. Дар равандҳои кӯра, ба монанди оксидшавӣ ё диффузия, қисмҳо ба монанди қаиқҳои вафлӣ ё кафҳои аз SiC сохташуда майл ба дарозтар хизмат мекунанд. Онҳо шакли худро нигоҳ медоранд ва ҳатто пас аз давиданҳои тӯлонӣ ифлосшавии зиёд намеоранд. Одамон аксар вақт аз ин сабаб аз кварц мегузаранд, хусусан вақте ки нигоҳдорӣ хеле зуд-зуд мешавад.

Барои кандакорӣ, SiC аксар вақт танҳо аз он сабаб интихоб карда мешавад, ки он дар плазма муддати дарозтар зинда мемонад. Тафовути умр дар муқоиса бо қисмҳои кремний дар бисёр насбҳо ба назар мерасад, гарчанде ки он то ҳол аз раванди дақиқ вобаста аст. Он инчунин каме ба назорати зарраҳо мусоидат мекунад, ки бо кам шудани гиреҳҳо ҳассостар мешавад. Шумо инчунин хоҳед дид, ки SiC ҳамчун суссепторҳо дар MOCVD ё CVD истифода мешавад. Дар ин ҳолатҳо, гап дар бораи "қувват" камтар ва бештар дар бораи нигоҳ доштани рафтори ҳарорат устувор аст. Берун аз ин, он дар қисмҳои камера ба монанди лайнерҳо ё сарпӯшҳои душ ва баъзан дар коркарди ҷузъҳо низ зоҳир мешавад.