EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ваннаи кварци нимноқилӣ
Маълумоти фаврӣ:
1.Дигар номҳо: зарфи кварси нимноқил, ваннаи кварц барои нимноқил, зарфи кварц барои нимноқил.
2.Application: Ҳаммоми нимноқилҳои кварц як ҷузъи тозагии баланд ва ба зангзанӣ тобовар аст, ки махсус барои тозакунии дақиқ ва коркарди кимиёвӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо таҳия шудааст. Ин ваннаи кварцӣ, ки барои мутобиқат бо системаи WS-620C/ WS-820C/ WS-820L тарҳрезӣ шудааст, дар шароити ҳарорати баланд (то 175°C) кор мекунад ва барои истифода бо маҳлулҳои кислотаи фосфорӣ (H₃PO₄) оптимизатсия шудааст, ки иҷрои истисноиро дар равандҳои муҳими тозакунии вафли таъмин мекунад.
3. Параметрҳои асосӣ:
Кварси омехта (>99.99% SiO₂).
Беэътибории истисноии кимиёвӣ ба H₃PO₄ (кислотаи фосфорӣ) дар ҳарорати баланд, пешгирӣ кардани таназзул ё тавлиди зарраҳо.
Ба кори муттасил дар 160°C ва ҳарорати баландтарини 175°C тоб оварда, тамомияти сохторӣ ва устувории андозагириро нигоҳ медорад.
Тавсифи
Ваннаи нимноқилҳои кварц як ҷузъи тозагии баланд ва ба зангзанӣ тобовар аст, ки махсус барои тозакунии дақиқ ва коркарди кимиёвӣ дар истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст. Ин ваннаи кварцӣ, ки барои мутобиқат бо системаи WS-620C/ WS-820C/ WS-820L тарҳрезӣ шудааст, дар шароити ҳарорати баланд (то 175°C) кор мекунад ва барои истифода бо маҳлулҳои кислотаи фосфорӣ (H₃PO₄) оптимизатсия шудааст, ки иҷрои истисноиро дар равандҳои муҳими тозакунии вафли таъмин мекунад.
Хусусиятҳои асосии
Бартарии моддӣ
Кварси тозаи баланд: Аз кварси омехтаи синтетикӣ (>99.99% SiO₂) истеҳсол шудааст, ки олудашавии ҳадди ақал ва муқовимат ба зарбаи гармиро таъмин мекунад.
Муқовимати кислота
Беэътибории истисноии кимиёвӣ ба H₃PO₄ (кислотаи фосфорӣ) дар ҳарорати баланд, пешгирӣ кардани таназзул ё тавлиди зарраҳо.
Устувории гармӣ
Ба кори муттасил дар 160°C ва ҳарорати баландтарини 180°C тоб оварда, тамомияти сохторӣ ва устувории андозагириро нигоҳ медорад.
Манфиатҳои иҷроиш
Назорати ифлосшавӣ: Тайёрии сатҳи ултра ҳамвор пайвастшавии зарраҳоро кам мекунад, ки барои равандҳои гиреҳи нимноқилҳои субмикрон муҳим аст.
Давомнокӣ: Муқовимати кварц ба зангзании кислота ва хастагии ҳароратӣ мӯҳлати хидматро дароз карда, вақти бекорӣ ва хароҷоти нигоҳубинро коҳиш медиҳад.
Мутобиқати раванд: гузаронандагии гармидиҳии устувор тақсимоти яксони ҳароратро таъмин намуда, самаранокии тозакунӣ ва такрорпазириро беҳтар мекунад.
Чаро ваннаи нимноқили кварции Semixlab -ро интихоб кунед?
Сифати дараҷаи нимноқил: Дар муҳити пок барои мувофиқат ба стандартҳои SEMI истеҳсол карда мешавад.
Қарорҳои фармоишӣ: Тарҳҳои фармоишӣ барои мувофиқат ба талаботи мушаххаси раванд дастрасанд.
Эътимоднокӣ: Санҷиши ҷиддии сифат мутобиқати талаботи саноати нимноқилҳоро таъмин мекунад.
Тафсилот
| Моликияти механикӣ | Зичии (г/см3) | 2.2 |
| Моҳии сахт | 6-7 | |
| Қувваи фишор (МПа) | 1100 | |
| Қувваи кашиш (Н/мм2) | 50 | |
| Қувваи гардиш (Н/мм2) | 65 | |
| Қувваи гардиш (Н/мм2) | 30 | |
| Модули ҷавон (МПа) | 7.2x104 | |
| Таносуби Пуассон | 0.16 | |
| Хусусиятҳои гармӣ | Коэффисиенти васеъшавии гармӣ (20~320℃,к-1) | 5.5x10-7 |
| Қобилияти гармидиҳӣ (20℃,Вт·м-1k-1) | 1.4 | |
| Гармии хос (20℃, J·кг-1k-1) | 670 | |
| Нуқтаи нармшавӣ (℃) | 1700 | |
| Нуқтаи гармкунӣ (℃) | 1180 | |
| Нуқтаи шиддат (℃) | 1080 | |
| Моликияти электрикӣ | Муқовимати барқӣ (Ω·m) | 1x1016(20) |
| доимии диэлектрикӣ (10 ГГц) | 3.74 | |
| Талафоти диэлектрикӣ (10 ГГц) | 0.0002 | |
| Қувваи диэлектрикӣ (V·m-1) | 3.7x107 |
Барномаҳо
Тоза кардани вафли: Тоза кардани фоторезист, пасмондаҳо ва ифлоскунандаҳо дар маҳлулҳои H₃PO₄ пас аз кӯза ё литография.
Равандҳои ҳарорати баланд: Муносиб барои марҳилаҳои пешрафтаи истеҳсоли нимноқилҳо, ки химияҳои хашмгинро дар ҳарорати баланд талаб мекунанд.
Мутобиқат: Беҳтарин барои системаи WS-620C/ WS-820C/ WS-820L дар фабҳо, ки мантиқ, хотира ё дастгоҳҳои пурқувватро истеҳсол мекунанд.
