Сарпӯши CVD тантал карбиди (TaC).

Пӯшиши TaC одатан вақте баррасӣ мешавад, ки SiC ба ҳадди ниҳоии худ мерасад. Ин бештар дар эпитаксияи SiC ё афзоиши кристаллӣ рух медиҳад, ки дар он ҷо ҳам ҳарорат ва ҳам атмосфераи раванд талабгори бештар аст.

Бо нуқтаи обшавии хеле баландтар, TaC таъсири тӯлонии ҳарорати баландро беҳтар идора мекунад, хусусан дар муҳитҳое, ки гидроген ё HCl доранд. Дар амал, ин дар равандҳо ба монанди афзоиши PVT, ки дар он устувории гармӣ мустақиман ба сифати кристалл таъсир мерасонад, тафовут эҷод мекунад.

Барномаҳои маъмулӣ ҳалқаҳои роҳнамои ҷараён, нигоҳдорандаҳои тухмӣ, қисмҳои марбут ба тигель ва дигар сохторҳои дохили майдони гармиро дар бар мегиранд. Ин ҷузъҳо барои муддати тӯлонӣ дар шароити сахт қарор доранд, аз ин рӯ кам кардани таназзул муҳим мегардад. Дар баъзе насбҳо, TaC тадриҷан маводҳои кӯҳнаро ба монанди pBN ва ҳатто баъзе қисмҳои бо SiC пӯшонидашударо иваз мекунад, гарчанде ки ин то ҳол аз арзиш ва тарҳрезии раванд вобаста аст.