Такси бо пӯшонидашудаи TaC барои афзоиши булӯр

Дар муҳитҳои афзоиши монокристаллӣ — хоҳ барои интиқоли буғи физикии SiC (PVT), хоҳ барои коркарди аммонотермалии GaN, хоҳ барои усулҳои сапфирӣ (Al₂O₃) Киропулос/Чохралски — устуворӣ ва покии тигель сифати ниҳоии були парваришшударо муайян мекунад. Тигельи бо карбиди тантал пӯшонидашудаи Semixlab махсус барои ин муҳитҳои афзоиши ултраҳарорати баланд ва аз ҷиҳати кимиёвӣ хашмгин тарҳрезӣ шудааст, ки якрангии гармии беҳтар, ифлосшавии ҳадди ақал ва умри дарозтарро дар муқоиса бо тигельҳои анъанавии графитӣ ё металлии оташгиранда таъмин мекунад.

Дар асоси тарҳи мо як пӯшиши зич ва якхелаи карбиди тантал (TaC) ҷойгир аст, ки дар болои графити изостатикии тозагии баланд гузошта шудааст. TaC, бо нуқтаи обшавии худ аз 3880°C, фишори буғии хеле паст ва инертии назарраси кимиёвӣ, дар сахттарин атмосфераҳои афзоиш - камераҳои бой аз карбон, реакторҳои бой аз аммиак ё кӯраҳои сапфири дорои оксиген устувор боқӣ мемонад. Ин ба тигель имкон медиҳад, ки якпорчагии сохториро нигоҳ дорад ва аксуламалҳои паразитиро, ки дар акси ҳол ифлосҳоро ворид мекунанд, ҳосили кристаллро паст мекунанд ё майдонҳои гармиро, ки барои морфологияи порча муҳиманд, таҳриф мекунанд, пахш кунад.

Барои афзоиши кристаллҳои SiC PVT, сатҳи ботинии бо TaC пӯшонидашуда бухоршавии графитро ба таври назаррас коҳиш медиҳад ва аз олудашавии карбон дар маводҳои тухмӣ ва заряд пешгирӣ мекунад. Ин пӯшиш инчунин интиқоли гармии радиатсияро беҳтар мекунад ва мувофиқати градиенти ҳарорати меҳвариро, ки мустақиман устувории политипи SiC, зичии дислокатсия ва миқёспазирии диаметри булро танзим мекунад, беҳтар мекунад.

Таъсири таги бо пӯшонидашудаи TaC барои афзоиши кристаллҳои ягонаи SiC

Дар афзоиши кристаллҳои GaN, муқовимати TaC ба зангзании шадид дар зери аммиаки фавқулкритикӣ имкон медиҳад, ки корҳо дар муддати тӯлонӣ бо гузаронандагии устувори гармӣ ва вайроншавии ҳадди ақали сатҳ анҷом дода шаванд ва якрангии баланди кристаллографиро дастгирӣ кунанд.

Ҳангоми афзоиши сапфир, рӯйпӯш ҳамчун монеа бар зидди оксидшавии графит амал мекунад ва аз таъсири мутақобилаи Al₂O₃, ки метавонад боиси шикастагии тигел ё ифлосшавии гудохта гардад, пешгирӣ мекунад. Дар афзоиши GaAs, инертии кимиёвии TaC реаксияҳои марбут ба арсенро пахш мекунад ва ҳамзамон муҳити гудохтаи бениҳоят тозаро нигоҳ медорад, якрангии электрикиро беҳтар мекунад ва пайдоиши нуқсонҳоро коҳиш медиҳад.

Раванди истеҳсолии Semixlab зичии рӯйпӯш, якрангии ғафсӣ, қувваи часпак ва муқовимати зарбаи гармиро таъмин мекунад, ки барои кори дарозмуддати бисёрдаврӣ мувофиқ аст. Ҳар як тигел аз метрологияи андозагирӣ, санҷиши якпорчагии рӯйпӯш ва озмоиши стрессии ҳарорати баланд барои қонеъ кардани талаботи сифатии истеҳсолкунандагони пешрафтаи таҷҳизоти парвариши кристалл мегузарад.