ҳалқаи poous TaC

Карбиди кремний (SiC), як маводи нимноқили насли сеюм, дорои хосиятҳои барҷаста ба монанди фосилаи баланд, гузариши баланди гармӣ ва майдони баланди шикаста, ки онро дар соҳаҳои ба монанди мошинҳои нави энергетикӣ, ҳамлу нақли роҳи оҳан, алоқаи 5G ва электроникаи барқ ​​муҳим месозад. Афзоиши яккристаллҳои SiC ҳарорати ниҳоят баланд (> 2000 ° C) ва муҳити сахти физикӣ ва кимиёвиро талаб мекунад, ки ба ҷузъҳои асосии таҷҳизоти афзоиш, ба монанди тигелҳо ва ҷузъҳои майдони гармидиҳӣ талаботи ниҳоят баландро мегузорад. Semixlab ҳалқаҳои танталии танталиро (TaC) таъмин мекунад, ки бо хосиятҳои беназири физикӣ ва химиявии худ маводи беҳтарин барои оптимизатсияи раванди афзоиши як кристаллҳои SiC шудаанд.

Хусусиятҳои асосии ҳалқаҳои карбиди танталӣ

1. Устувории ҳарорати баланд

Нуқтаи обшавии карбиди тантал то 3880 ℃, дар диапазони ҳарорати афзоиши як кристалл карбиди кремний (2000-2500 ℃) барои нигоҳ доштани устувории сохтор, пешгирӣ кардани деформатсия ё ноустувории.

Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ (6.3 × 10⁻⁶/К), кам кардани хатари тарқишҳо дар натиҷаи фишори гармӣ.

2. Инертсияти химияви

Он дорои мутобиқати қавӣ бо карбиди кремний, графит ва дигар маводҳо, ва бо кремний (Si) ва карбон (C) буғи дар ҳарорати баланд вокуниш нишон намедиҳад, то ки кристаллҳои ифлоскунандаро пешгирӣ кунад. Муқовимат ба зангзании кремний / газҳои карбон.

Маълумоти фаврӣ:

1. Дигар номҳо: ҳалқаи ковокии TaC, карбиди танталии кӯза, ҳалқаи пӯшидаи TaC

2. Ариза: Ҳамчун ҷузъи асосии системаи майдони гармидиҳӣ, ҳалқаи рахнашудаи TaC тақсимоти радиатсияи гармиро тавассути сохтори поруси он танзим мекунад, градиенти ҳарорати радиалиро коҳиш медиҳад ва якрангии афзоиши аксиалии карбиди кремнийи ягона crystal.Combined бо гармкунаки графитро беҳтар мекунад, камбудиҳои фишори кристалл метавонанд аз ҷониби overheating маҳаллӣ кам карда шаванд.

3. Параметрҳои асосӣ: Нуқтаи обшавии карбиди тантал то 3880 ℃, дар диапазони ҳарорати афзоиши як кристалл карбиди кремний (2000-2500 ℃) барои нигоҳ доштани устувории сохтор, пешгирӣ кардани деформатсия ё ноустуворӣ.

Коэффисиенти пасти васеъшавии гармӣ (6.3 × 10⁻⁶/К), кам кардани хатари тарқишҳо дар натиҷаи фишори гармӣ.

Истифодаи калидӣ дар афзоиши монокристалл карбиди кремний

1. Тарҳрезии майдони гармӣ ва назорати ҳарорат

Ҳамчун ҷузъи асосии системаи майдони гармӣ, ҳалқаи ковокии TaC тақсимоти радиатсияи гармиро тавассути сохтори ковокии худ танзим мекунад, градиенти ҳарорати радиалиро коҳиш медиҳад ва якрангии афзоиши меҳвари кристаллро беҳтар мекунад.

Дар якҷоягӣ бо гармкунаки графит, камбудиҳои фишори кристаллро, ки дар натиҷаи гармшавии маҳаллӣ ба вуҷуд омадаанд, кам кардан мумкин аст.

2. Интиқоли газ ва оптимизатсияи реаксия

Дар кӯраи афзоиши PVT, ҳалқаҳои ковокии TaC-ро метавон ҳамчун муҳити диффузияи газ истифода бурд, то буғи Si/C-ро ба сатҳи кристаллии тухм баробар тақсим кунад, ки метавонад суръати афзоиши кристалл ва сифати кристаллро беҳтар кунад.

Сохтори сӯрох метавонад ифлосиҳои микроэлементиро (масалан, ионҳои металлӣ) адсорб кунад ва тозагии кристаллро беҳтар созад (муқовимат >10⁵ Ω·см).

3. Маҷмаи дастгирии умри дароз

Ба ҷои маводи анъанавии графит, он барои ҳалқаҳои пуштибонии тигелӣ ё қабатҳои гармидиҳии гармӣ истифода мешавад, то мушкилоти хокаи графитро дар ҳарорати баланд пешгирӣ кунад ва мӯҳлати хидмати таҷҳизотро (> 1000 соат) дароз кунад.

Сохтори ковок консентратсияи фишори гармиро сабук мекунад ва хатари крекро коҳиш медиҳад.

Ҳалқаи TaC асосан дар усули PVT истифода мешавад

Хулоса, ҳалқаи Porous TaC-и Semixlab сифати кристаллро беҳтар мекунад: майдони ягонаи гармӣ зичии камбудиҳоро коҳиш медиҳад ва омода кардани кристаллҳои калонҳаҷми SiC аз 6 дюйм ва болотарро дастгирӣ мекунад.

Оптимизатсияи самаранокии раванд: Самаранокии интиқоли газро суръат бахшед ва суръати афзоишро 10-15% зиёд кунед.

Хароҷоти истеҳсолиро кам кунед: Қисмҳои дарозмуддат басомади нигоҳдории таҷҳизотро кам мекунанд ва арзиши умумӣ 20-30% кам мешавад.

Афзалиятҳои сохтори ковокӣ

Порозияи идорашаванда (30-60%) роҳи паҳншавии газро оптимизатсия мекунад ва интиқоли ягонаи буғи Si/C дар PVT (усули интиқоли буғҳои физикӣ) мусоидат мекунад.

Масоҳати баланди сатҳи мушаххас самаранокии радиатсияи гармиро баланд мебардорад, ба ташаккули майдони якхелаи ҳарорат мусоидат мекунад ва нуқсонҳои кристалиро (ба монанди микротубулҳо ва дислокатсияҳо) бозмедорад.