EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ҳалқаи кварсӣ 150 мм
Ҳалқаи кварсии AMAT 150mm 0200-09087 як ҷузъи нимноқилии бо дақиқӣ сохташуда мебошад, ки барои истифода дар системаҳои коркарди плазмаи вафлии 150 мм, аз ҷумла камераҳои пошидан ва PVD пешбинӣ шудааст. Ҳамчун як қисми муҳими камера, ҳалқаи кварсӣ дар назорати плазма, ҳифзи камера ва якрангии раванд нақши калидӣ мебозад. Ҳалқаҳои кварсии 150 мм-и мо барои қонеъ кардани талаботи серталаби истеҳсоли вафлии муосир тарҳрезӣ шудаанд, ки кори устувор, ифлосшавии кам ва натиҷаҳои боэътимоди равандро таъмин мекунанд. Мо дархостҳои шуморо қабул мекунем.
Тавсифи
Ҳамчун ҷузъи дар плазма қарордошта, ҳалқаи кварсӣ барои кор дар муҳитҳои дорои энергияи баланд тарҳрезӣ шудааст ва ҳамзамон устувории сохторӣ ва мувофиқати равандро нигоҳ медорад.
Маълумоти асосии маҳсулот
| Банди | Тавсифи |
| Номи Маҳсулоти | Ҳалқаи кварсии AMAT 150мм 0200-09087 |
| Андозаи вафл | 150 мм (6 дюйм) |
| Маводҳо | Кварси гудохташудаи покизаи баланд |
| Намуди компонент | Компоненти идоракунии ҳалқаи камера / плазма |
| Ариза | Коркарди пошидани коркарди PVD / плазма |
| Мутобиқати таҷҳизот | Системаҳои коркарди нимноқилҳо |
| Таъминкунанда | Semixlab |
Мавод ва бартариятҳо
Ҳалқаи AMAT Quartz Ring 150mm аз кварси гудохташудаи дараҷаи нимноқил (SiO₂) истеҳсол шудааст, ки маводест, ки бо кори аълои худ дар муҳитҳои коркарди плазма васеъ эътироф шудааст.
Афзалиятҳои асосии кварси гудохташуда:
Олудашавии хеле кам
Кварси тозаи баланд дорои сатҳи хеле пасти ифлосшавии металлӣ мебошад, ки хатари ифлосшавии вафлро кам мекунад ва стандартҳои пешрафтаи истеҳсоли нимноқилҳоро дастгирӣ мекунад.
Муқовимати аълои плазма
Кварц ба бомбаборони ионҳо ва эрозияи плазма муқовимати қавӣ дорад, ки онро барои истифодаи дарозмуддат дар камераҳои пошидан ва плазма мувофиқ мегардонад.
Устувории баланди гармӣ
Мавод дар ҳарорати баланд ва даври босуръати гармӣ якпорчагии сохтории худро нигоҳ медорад ва кори мунтазамро ҳангоми коркард таъмин мекунад.
Гарминигоҳдорӣ
Ҳамчун маводи ғайриногузар, кварц ба устувории майдони электрикӣ дар дохили камера мусоидат мекунад ва ба тақсимоти якхелаи плазма мусоидат мекунад.
Инертсияи химиявӣ
Кварц ба газҳои реактивӣ, ки дар равандҳои нимноқилҳо истифода мешаванд, тобовар аст, ки таназзулро кам мекунад ва мӯҳлати кори ҷузъҳоро дароз мекунад.
Ин хосиятҳо кварси гудохташударо маводи беҳтарин барои ҷузъҳои камерае мегардонанд, ки ба шароити плазма ва ҳарорати баланд дучор мешаванд.
Барномаҳо
Функсия дар дохили таҷҳизоти нимноқилӣ
AMAT Quartz Ring 150mm дар дохили камераҳои коркарди плазма якчанд вазифаҳои муҳимро иҷро мекунад, ки мустақиман ба устувории раванд ва сифати пластина таъсир мерасонанд.
1. Маҳдудият ва назорати плазма
Ҳалқаи кварсӣ ба муайян кардани минтақаи сарҳадии плазма, назорат кардани тақсимоти ионҳо ва устувор кардани рафтори плазма дар дохили камера мусоидат мекунад. Ин ба шароити такроршаванда ва пайвастаи раванд мусоидат мекунад.
2. Беҳсозии якрангии канорҳо
Ҳалқа, ки дар наздикии канори вафли ҷойгир аст, нақши муҳимро дар инҳо мебозад:
● Танзими зичии плазма дар периметри вафли
● Кам кардани таъсири канорӣ
● Беҳтар кардани якрангии кандакорӣ ё таҳшинкунӣ
Ин барои нигоҳ доштани назорати андозаи муҳим (CD) ва ҳосили умумии вафл муҳим аст.
3. Ҳифзи палата
Ҳамчун ҷузъи қурбонӣ, ҳалқаи кварц инҳоро ҷаббида мегирад:
● Маводҳои пошидашуда
● Маҳсулоти иловагии коркарди кандакорӣ
● Таъсири плазма
Ин барои муҳофизат кардани ҷузъҳои муҳими камера, аз қабили деворҳои металлӣ, лайнерҳо ва патрони электростатикӣ аз осеб ва ифлосшавӣ кӯмак мекунад.
4. Тақвияти устувории равандҳо
Бо нигоҳ доштани хосиятҳои геометрӣ ва маводҳои мувофиқ, ҳалқаи кварц инҳоро дастгирӣ мекунад:
● Тарҳҳои ҷараёни устувори газ
● Таъсири мутақобилаи плазмавии назоратшаванда
● Кам шудани тавлиди зарраҳо
Ин дар ниҳоят ба беҳтар шудани такрори раванд ва кам шудани вақти кор оварда мерасонад.
Хизматрасониҳо мо
Дӯкони маҳсулоти Semixlab
