Маводҳои таркибии карбон-карбон

Маводҳои карбон-карбонии композитӣ (C/C)-и Semixlab барои талаботи шадиди гармидиҳии истеҳсоли нимноқилҳои насли оянда тарҳрезӣ шудаанд, ки устувории механикии истисноӣ, дақиқии андозагирии дарозмуддат ва устувории беҳамтои гармиро дар муҳитҳои ҳарорати баланд ва тозагии баланд таъмин мекунанд.

Дар реакторҳои афзоиши эпитаксиалии SiC ва GaN, композитҳои C/C ҳамчун сохторҳои муҳими борбардор ва идоракунии гармӣ дар плитаҳои гармидиҳӣ, чаҳорчӯбаҳои интиқолдиҳанда, арматураҳои такягоҳӣ ва васлкуниҳои изолятсия хизмат мекунанд. Микросохтори беназири онҳо қувваи хоси баланд, деформатсияи хеле пасти гармӣ ва муқовимати хастагии аълоро дар давраҳои такрории гармии 1500-1800 °C пешниҳод мекунад ва ҷойгиршавии устувори пластинаҳо ва майдонҳои гармии мувофиқро дар тӯли давраҳои тӯлонии эпитаксиалӣ таъмин мекунад.

Ҳангоми коркард бо технологияҳои тозакунӣ ва зичкунии хусусӣ, маводҳои C/C-и Semixlab ба сатҳи хеле пасти ифлосӣ, ки барои муҳитҳои SiC ва GaN MOCVD, CVD ва PVT мувофиқанд, ноил мегарданд ва хатари ифлосшавиро дар сатҳи вафл ва булл дастгирӣ мекунанд. Муқовимати баланди зарбаи гармии C/C инчунин ҳолатҳои нокомии микрошикастагиро, ки дар сафол ё графити стандартӣ маъмуланд, ҳангоми дучор шудан ба давраҳои босуръати афзоиш ва хунуккунии хоси коркарди эпитаксиалӣ, бартараф мекунад.

Дар гармкунии фаъолсозии SiC, ки аксар вақт дар ҳарорати аз 1700 °C зиёд иҷро мешавад, маводҳои таркибии карбон-карбон ҳамчун унсурҳои мустаҳками сохторӣ, маҷмӯаҳои гармкунак ва қабатҳои изолятсияи гармӣ дар дохили камераҳои гармкунии энергияи баланд амал мекунанд. Қобилияти онҳо барои нигоҳ доштани қувваи механикӣ дар болои 2000 °C, дар якҷоягӣ бо газҳои паст ва инертии кимиёвӣ, муҳити гармии тоза ва назоратшавандаро барои фаъолсозии допантҳо дар MOSFET-ҳои пешрафтаи SiC, диодҳо ва модулҳои барқӣ таъмин мекунад.

Бар хилофи графити анъанавӣ, маводҳои C/C дар тӯли мӯҳлати тӯлонии ҳарорати баланд якпорчагии андозаро нигоҳ медоранд, ки профилҳои дақиқ ва такроршавандаи фаъолсозии допантро имкон медиҳанд, лағжишро дар якрангии тафсонӣ кам мекунанд ва самаранокии умумии электрикӣ ва ҳосилнокии дастгоҳро беҳтар мекунанд.

Усули муҳандисии Semixlab меъмории нахи мушаххаси барномавӣ, зичии матритсаҳои фармоишӣ ва рӯйпӯшҳои сатҳи карбонии SiC ё пиролитикии тозагии баландро муттаҳид мекунад, ки ба ҷузъҳои C/C имкон медиҳад, ки ба талаботи қатъии таҷҳизоти эпитаксия ва гармкунӣ ҷавобгӯ бошанд. Ин пешрафтҳои технологӣ ба дарозтар шудани мӯҳлати истифодаи қисмҳо, кам шудани давраҳои нигоҳдорӣ ва ба таври назаррас беҳтар шудани якрангии гармӣ оварда мерасонанд.