Ҳалқаи болоии кварц

Ҳалқаи болоии Quartz 0200-02626 як ҷузъи кварсии дақиқи баланд аст, ки дар таҷҳизоти истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешавад. Ин ҳалқаи кварсӣ, ки барои кор дар муҳитҳои пуршиддати плазма, ба монанди камераҳои кандакорӣ ва буғгузории физикӣ (PVD) тарҳрезӣ шудааст, ҳамчун унсури муҳими муҳофизатӣ ва устуворкунандаи раванд дар дохили камера амал мекунад.

Дар Semixlab, мо қисмҳои эҳтиётии нимноқилҳои баландсифат ва ҷузъҳои дақиқи кварсро пешниҳод менамоем, ки барои қонеъ кардани талаботи қатъии корхонаҳои истеҳсоли вафли муосир тарҳрезӣ шудаанд. Ҳалқаи болоии кварси 0200-02626 бо истифода аз кварси гудохташудаи тозагии баланд истеҳсол карда мешавад, то устувории аълои гармӣ, муқовимати плазма ва назорати ифлосшавиро таъмин намояд.

Маълумоти умумӣ

Ҳалқаи болоии Quartz 0200-02626 одатан дар минтақаи болоии камераи коркарди нимноқилҳо насб карда мешавад, ки минтақаи коркарди вафлро иҳота мекунад ё бо он мувофиқат мекунад. Он ба таври васеъ ҳамчун ҷузъи муҳофизатӣ ва устуворкунандаи ҷараён дар системаҳои коркарди плазма истифода мешавад.

Маълумоти асосии маҳсулот

Ҳалқаи болоии Quartz, ки бо таҳаммулпазирии қатъии андозагирӣ ва тозагии баланди мавод истеҳсол шудааст, ба нигоҳ доштани муҳити устувори коркард ва ҳосили устувори вафл мусоидат мекунад.

Хусусиятҳои сохтории маъмулӣ

Ҳалқаи болоии Quartz 0200-02626 бо геометрияи мувофиқ барои ҳамгироӣ бо камераҳои коркарди нимноқилҳо истеҳсол карда мешавад.

Хусусиятҳои тарроҳии маъмулӣ инҳоянд:

● Диаметри дохилии дақиқ (ID) бо минтақаи коркарди вафл мувофиқ карда шудааст

● Диаметри берунӣ (OD) барои васлкунии боэътимод дар дохили сипарҳо ё таҷҳизоти камера пешбинӣ шудааст

● Профилҳои зинапоядор ё чуқурчадор барои беҳтар кардани устувории механикӣ

● Сӯрохиҳо ё сӯрохиҳои иловагии ҷараёни газ барои кӯмак ба тақсимоти плазма ва газ

● Сатҳҳои кварсии сайқалёфта барои кам кардани пайдоиши зарраҳо

● Коркарди дақиқи баланд барои насби мунтазам ва такроршавандагӣ

Ин хусусиятҳои сохторӣ барои таъмини кори боэътимод дар муҳитҳои вакуумии баланд ва плазмаи баланд мусоидат мекунанд.

Функсия дар дохили таҷҳизоти нимноқилӣ

Дар дохили системаҳои коркарди нимноқилҳо, ҳалқаи болоии Quartz якчанд нақшҳои муҳимро мебозад, ки мустақиман ба кори камера ва сифати пластина таъсир мерасонанд.

Муҳофизат аз плазма: Ҳалқа ҳамчун монеаи муҳофизатӣ байни муҳити плазма ва ҷузъҳои муҳими камера амал мекунад ва аз таъсири мустақими плазма ба сохторҳои металлӣ пешгирӣ мекунад.

Ҳифзи палата: Ҳалқаҳои болоии кварц ҳамчун ҷузъҳои қурбонӣ хизмат мекунанд ва маҳсулоти иловагии равандро, аз қабили боқимондаҳои таҳшиншавӣ ё реаксияҳои кандакорӣ, ҷаббида мегиранд. Ин ба муҳофизати сахтафзори гаронбаҳои камера аз осеб мусоидат мекунад.

Устувории раванд: Ҳалқаи кварсӣ бо шакл додани минтақаи плазма ва нигоҳ доштани фосилаи мунтазам дар атрофи канори вафл, ба рафтори устувори плазма ва шароити коркарди такроршаванда мусоидат мекунад.

Назорати якрангии канорҳо: Ҳалқаҳои кварсии дуруст тарҳрезишуда ба танзими ҷараёни газ ва тақсимоти плазма мусоидат мекунанд, ки якрангии канори вафл ва самаранокии умумии равандро беҳтар мекунад.

Мавод ва бартариятҳо

Ҳалқаи болоии Quartz 0200-02626 аз кварси гудохташудаи тозагии баланд (SiO₂) истеҳсол мешавад, ки маводест, ки дар таҷҳизоти нимноқилӣ ба таври васеъ истифода мешавад, зеро он дар шароити плазма ва ҳарорати баланд самаранокии аъло дорад.

Афзалиятҳои асосии мавод:

1. Муқовимати аълои плазма

Кварси гудохташуда ба бомбаборони ионҳо ва зангзании плазма муқовимати қавӣ нишон медиҳад, ки онро барои муҳитҳои сахти коркарди нимноқилҳо беҳтарин мегардонад.

2. Олудашавии хеле ками металл

Кварси тозаи баланд дорои сатҳи хеле пасти ифлосҳои металлӣ мебошад, ки ба пешгирии пайдоиши зарраҳо ва ифлосшавӣ ҳангоми коркарди вафл мусоидат мекунад.

3. Устувории гармии аъло

Кварц якпорчагии сохториро дар ҳарорати баланд, ки одатан дар камераҳои плазмавӣ дучор мешавад, нигоҳ медорад.

4. Изоляцияи электрики

Ҳамчун маводи ғайриноқил, кварц ба устувории майдони электрикӣ дар дохили камераҳои плазма мусоидат мекунад ва ба шароити ягонаи коркард мусоидат мекунад.

5. Инертсияи химиявӣ

Кварц ба газҳои раванди реактивӣ, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо истифода мешаванд, муқовимати қавӣ нишон медиҳад.

Ин хосиятҳо кварси гудохташударо барои ҷузъҳои муҳофизати камера ва қисмҳои дар плазма дучоршуда маводи афзалиятнок мегардонанд.