Паҳнкунии гази болоии кварси лайнер

Маълумоти умумӣ

AMAT 0200-09445 Liner Qtz Upper Gas Dist дар минтақаи болоии камераҳои коркарди нимноқилҳо, одатан дар системаҳое, ки барои коркарди кандакорӣ ё равандҳои таҳшинкунии буғи кимиёвӣ (CVD) истифода мешаванд, насб карда мешавад.

Маълумоти асосии маҳсулот

Ин ҷузъ қисми системаи васеътари тақсимоти газ ва лайнерҳои камера мебошад, ки дар якҷоягӣ бо лайнерҳои поёнӣ ва лавҳаҳои тақсимоти газ барои таъмини шароити мувофиқи раванд кор мекунад.

0200-09445 ҳалқа ё лайнери оддии кварсӣ нест - он як ҷузъи функсионалии гибридӣ мебошад, ки ду нақши муҳимро дар дохили камераи коркард муттаҳид мекунад:

Астари кварц (Қабати муҳофизатии камера)

Ҳамчун қабати пӯшиш, он ҳамчун монеаи муҳофизатӣ байни муҳити плазма ва сатҳҳои металлии камера амал мекунад. Он таҳшиншавиро ҷаббида, ифлосшавиро пешгирӣ мекунад ва мӯҳлати кори камераро дароз мекунад.

Қисмати болоии тақсимоти газ

Ҳамзамон, он барои дастгирӣ ва роҳнамоии ҷараёни гази раванд дар минтақаи камераи болоӣ тарҳрезӣ шудааст. Бо истифода аз плитаҳои газӣ ё сарпӯшҳои душ, он ба тақсимоти баробари газҳо дар саросари пластина мусоидат мекунад.

Мавод ва хусусиятҳои асосӣ

Лайнери AMAT 0200-09445 аз кварси гудохташудаи дараҷаи нимноқил (SiO₂) истеҳсол шудааст, ки маводест, ки аз сабаби кори истисноии худ барои ҷузъҳои дар плазма дучоршуда васеъ истифода мешавад.

Хусусиятҳои асосии моддӣ

Покии ултра-баланд: Кварси истифодашуда дорои сатҳи хеле пасти ифлосшавии металлӣ мебошад, ки хатари ифлосшавиро кам мекунад ва стандартҳои пешрафтаи истеҳсоли нимноқилҳоро дастгирӣ мекунад.

Муқовимати аълои плазма: Кварси гудохташуда ба бомбаборони ионҳо ва муҳитҳои реактивии плазма тоб меорад, ки онро барои истифодаи дарозмуддат дар равандҳои коркарди ангишт ва CVD мувофиқ мегардонад.

Устувории гармии аъло: Мавод дар ҳарорати баланд ва даври гармӣ якпорчагии сохториро нигоҳ медорад ва кори доимиро дар тӯли вақт таъмин мекунад.

Беэътибории кимиёвӣ: Кварц аз зангзанӣ аз газҳои реактивӣ, ба монанди кимиёвии фтор ва хлор, ки одатан дар равандҳои нимноқилҳо истифода мешаванд, муқовимат мекунад.

Изолятсияи барқӣ: Кварц ҳамчун маводи ғайриногузар, ба нигоҳ доштани майдонҳои устувори электрикӣ мусоидат мекунад ва ба тақсимоти якхелаи плазма мусоидат мекунад.

Ин хосиятҳо кварцро маводи беҳтарин барои ҷузъҳое мегардонанд, ки назорати ҷараёни газ ва таъсири плазмаро дар бар мегиранд.

Функсия дар дохили таҷҳизоти нимноқилӣ

Лайнери тақсимоти гази болоии кварц 0200-09445 дар дохили камераҳои коркарди нимноқилҳо якчанд нақшҳои муҳимро мебозад ва ба сифати раванд ва эътимоднокии таҷҳизот мустақиман таъсир мерасонад.

Беҳсозии тақсимоти газ

Ин ҷузъ барои роҳнамоӣ ва тақсимоти газҳои раванд дар тамоми камера кӯмак мекунад ва инҳоро таъмин мекунад:

● Ҷараёни якхелаи газ

● Тақсимоти пайвастаи реактивҳо

● Шароити коркарди устувор

Ин барои ноил шудан ба суръати якхелаи кандакорӣ ё ҷойгиршавии плёнка дар сатҳи пластина муҳим аст.

Ҳифзи палата

Ҳамчун қабати қурбонӣ, он деворҳо ва ҷузъҳои сохтории камераро аз инҳо муҳофизат мекунад:

● Таъсири плазма

● Реаксияҳои кимиёвӣ

● Ҷамъшавии таҳшинҳо

Ин хароҷоти нигоҳдориро кам мекунад ва мӯҳлати кори сахтафзори гаронбаҳои камераро дароз мекунад.

Баланд бардоштани устувории плазма

Бо таъмини сатҳи устувори диэлектрикӣ дар камераи болоӣ, лайнери кварсӣ ба инҳо мусоидат мекунад:

● Нигоҳ доштани сарҳадҳои плазмаи якхела

● Кам кардани нооромиҳои барқӣ

● Такрорийлашувчанликни яхшилаш

Ифлосшавӣ ва назорати зарраҳо

Лайнер маҳсулоти иловагии равандро сабт мекунад ва пайдоиши зарраҳоро ба ҳадди ақал мерасонад ва ба ин кор мусоидат мекунад:

● Тозагии камераро нигоҳ доред

● Кам кардани сатҳи камбудиҳо

● Ҳосилнокии вафлро беҳтар кунед