EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Ҳалқаи воридкунии SiC 0200-21111
Ҳалқаи воридкунии SiC AMAT 0200-21111 як ҷузъи камераи карбиди кремний (SiC)-и бо дақиқӣ тарҳрезишуда мебошад, ки барои истифода дар таҷҳизоти пешрафтаи истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст. Ин ҳалқаи воридкунӣ, ки барои муқовимат ба таъсири агрессивии плазма, ҳарорати баланд ва муҳитҳои раванди реактивии кимиёвӣ сохта шудааст, дар ҳифзи сахтафзори камера ва нигоҳ доштани шароити устувори раванд нақши муҳим мебозад. Ин ҷузъ, ки аз SiC-и тозагии баланд истеҳсол шудааст, муқовимати аъло ба эрозияи плазма, фишори гармӣ ва тавлиди зарраҳо пешниҳод мекунад, ки онро интихоби беҳтарин барои барномаҳои таҳшинкунӣ ва коркард мегардонад, ки дар он якпорчагии камера ва ҳосили вафлҳо дар ҷои аввал меистанд. Мо дархости шуморо истиқбол мекунем.
Тавсифи
Ҳалқаи воридкунии SiC AMAT 0200-21111 як ҷузъи камераи карбиди силикон (SiC) мебошад, ки ба таври васеъ дар асбобҳои коркарди нимноқилҳои маводҳои амалӣ истифода мешавад. Он барои муҳитҳои плазмаи шадид ва ҳарорати баланд тарҳрезӣ шудааст ва дар ҳифзи сахтафзори камера ва ҳамзамон нигоҳ доштани устувории раванд нақши муҳим мебозад.
Навъи маҳсулот ва мавод
Навъи маҳсулот: Ҷузъи ҳалқаи воридкунӣ / лайнер барои камера
Мавод: Карбиди силиконии тозагии баланд (SiC)
Вазифаи тарроҳӣ: Воридкунии ба фарсудашавӣ тобовар ва ҳарорати баланд барои минтақаҳои камераи дучори плазма
Хусусиятҳои асосии моддӣ:
● Сахтии баланд ва муқовимати фарсудашавӣ: Деворҳои камераро аз эрозияи плазма муҳофизат мекунад
● Устувории гармии истисноӣ: Дар ҳарорати аз 600°C зиёд боэътимод кор мекунад
● Беэътибории кимиёвӣ: Ба моддаҳои кимиёвии фтор ва хлор тобовар аст
● Гузаронидани гармӣ: Тақсимоти якхелаи гармиро таъмин мекунад ва пайдоиши нуқтаҳои гармро кам мекунад
Нақшҳои функсионалӣ дар таҷҳизоти нимноқилҳо
Ҳалқаи воридкунии SiC 0200-21111 як ҷузъи муҳофизати камера бо тарҳи дақиқ мебошад. Вазифаҳои асосии он инҳоянд:
1. Ҳифзи девори камера
● Ҷузъҳои кварс, Al₂O₃ ё металлро аз таъсири мустақими плазма муҳофизат мекунад
● Эрозияро кам мекунад ва мӯҳлати хидматрасонии ҷузъҳоро дароз мекунад
2. Дастгирӣ ва ҳамоҳангсозии ҷузъҳо
● Астарҳо, ҳалқаҳои канорӣ ва маҷмӯаҳои сари душро устувор мекунад
● Консентратсия ва геометрияи дақиқи камераро нигоҳ медорад
3. Назорати зарраҳо ва устувории раванд
● Сахтии баланд ва сатҳҳои ҳамвори SiC пайдоиши зарраҳоро кам мекунанд
● Якрангии плазмаро барои коркарди мунтазами вафл беҳтар мекунад
Усулҳои нокомии умумӣ
Аз нуқтаи назари раванд ва нигоҳдорӣ, механизмҳои асосии нокомӣ инҳоянд:
● Эрозияи плазма: Талафи тадриҷии мавод аз сабаби таъсири доимии газҳои реактивӣ
● Шикастани фишори гармӣ: Микрошикастанҳо, ки дар натиҷаи даври босуръати гармӣ ба вуҷуд меоянд
● Шикастани канорҳо ва фарсудашавии механикӣ: Зарар аз насб ё коркарди нодуруст
● Ифлосшавии зарраҳо: Таназзули сатҳӣ, ки боиси афзоиши микрозарраҳо мегардад
● Маҳдудияти андоза: Тағйироти ночиз дар геометрия, ки ба мӯҳргузорӣ ё ҳамоҳангсозии камера таъсир мерасонанд
Дурнамои муҳандисии Semixlab
Ҳалқаи воридкунии SiC 0200-21111 барои саломатии камера дар муддати тӯлонӣ ва такроршавандагии раванд муҳим аст.
Гарчанде ки ҷузъи фаъоли раванд нест, вайроншавии он метавонад мустақиман ба инҳо таъсир расонад:
● Якрангии плазма ва мутобиқати кандакорӣ/ҷойгиркунӣ
● Зичии нуқсони вафл ва ҳосил
● Устувории умумии тирезаи раванди асбобҳо
Амалҳои тавсияшаванда:
● Дар ҳар як давраи PM аз мавҷудияти тарқишҳои хурд ва фарсудашавии сатҳӣ тафтиш кунед
● Ҳангоми насб аз тамос бо металл ба сафол худдорӣ кунед
● Дар асоси истифода ва нишондиҳандаҳои таъсири плазма, мунтазам иваз кунед
Ин равиш вақти кори таҷҳизотро ба ҳадди аксар расонида, кори мунтазами равандҳо ва кам кардани нуқсонҳои марбут ба зарраҳоро таъмин мекунад.
Хизматрасониҳо мо
