0200-06508 Сипари сафолӣ бо болопӯши 300 мм

Дар системаҳои пешрафтаи коркарди плазмаи нимноқилҳо, ҷузъҳои муҳофизати камера дар нигоҳ доштани устувории раванд, назорати ифлосшавӣ ва мӯҳлати хизмати таҷҳизот нақши муҳим мебозанд. 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm як ҷузъи камераи керамикии дақиқ тарҳрезӣшуда мебошад, ки барои муҳитҳои плазмавии баландсифат дар истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст.

Дар Semixlab, мо ҷузъҳои керамикии нимноқилҳои баландсифати тозаро пешниҳод менамоем, ки барои барномаҳои серталаби PECVD, кандакории плазма ва таҳшинкунӣ тарҳрезӣ шудаанд ва ба корхонаҳо дар беҳтар кардани эътимоднокии камера ва мувофиқати раванди вафл кӯмак мерасонанд.

Маълумоти умумӣ

Қисми болоии сипари керамикӣ як ҷузъи сафолии муҳофизатӣ мебошад, ки дар минтақаи болоии камераҳои коркарди нимноқилҳо, одатан дар наздикии минтақаҳои тавлиди плазма ва тақсимоти газ, насб карда шудааст.

Вазифаи асосии он муҳофизат кардани бадани камера ва сохторҳои дохилии металлӣ аз таъсири мустақими плазма, зангзании кимиёвӣ ва ҷамъшавии таҳшинҳо ҳангоми равандҳои истеҳсоли нимноқилҳо мебошад.

0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm барои системаҳои пешрафтаи коркарди вафли 300 мм тарҳрезӣ шудааст, ки дар он устувории плазма, пайдоиши ками зарраҳо ва назорати ифлосшавӣ муҳиманд.

● Вазифаҳои асосии рӯйпӯши сипари сафолӣ

● Сатҳҳои камераро аз эрозияи плазма муҳофизат кунед

● Кам кардани ифлосшавии зарраҳо дар дохили камера

● Муҳитҳои устувори RF ва плазмаро нигоҳ доред

● Тозагии камера ва такроршавандагии равандро беҳтар кунед

● Фосилаи нигоҳдории таҷҳизот ва мӯҳлати хизмати ҷузъро дароз кунед

Ҳангоме ки сохторҳои дастгоҳҳои нимноқилӣ коҳиш меёбанд, ҷузъҳои муҳофизати камера, ба монанди сипарҳои сафолӣ, барои беҳтар кардани ҳосилнокӣ ва устувории раванд аҳамияти бештар пайдо мекунанд.

Нақшҳои маъмулӣ дар системаҳои нимноқилӣ

Қисми болоии сипари керамикӣ AMAT 0200-06508 одатан дар таҷҳизоти коркарди плазмавии маводҳои татбиқшаванда (AMAT) барои истеҳсоли лавҳаҳои 300 мм истифода мешавад.

Ин ҷузъи сафолӣ, ки дар минтақаи камераи болоӣ насб шудааст, ҳамчун як қисми муҳими муҳофизатии рӯ ба рӯи плазма дар муҳитҳои коркарди плазмаи зичии баланд амал мекунад.

Нақшҳои асосӣ инҳоянд:

1. Сипари плазмавӣ

Сипари керамикӣ сохтори камераро аз бомбаборони плазмавии энергетикӣ ҷудо мекунад ва ба пешгирии инҳо мусоидат мекунад:

● эрозияи девори камера

● олудагии металлӣ

● осеби рӯизаминӣ

2. Камшавии зарраҳо

Истеҳсоли пешрафтаи нимноқилҳо муҳити хеле камзарраро талаб мекунад.

Қисми болоии сипари керамикӣ барои кам кардани инҳо кӯмак мекунад:

● пошидани мавод

● пора кардан

● партовҳои аз плазма ба вуҷуд омада

3. Устувории RF ва плазма

Аз сабаби хосиятҳои устувори диэлектрикии худ, сипари керамикӣ ба инҳо мусоидат мекунад:

● зичии плазмаи устувор

● рафтори пайвастаи RF

● якрангии беҳтаршудаи равандҳо

4. Тамдиди мӯҳлати кори палата

Сипари керамикӣ бо муҳофизати сохторҳои муҳими камера аз ҳамлаи мустақими плазма, ба кам кардани фарсудашавӣ ва басомади нигоҳдории камера мусоидат мекунад ва вақти кори таҷҳизот ва самаранокии кориро беҳтар мекунад.

Хулоса, 0200-06508 Ceramic Shield Top 300mm як ҷузъи муҳофизатии камераи сафолии алюминийи тозаи баландсифат мебошад, ки барои беҳтар кардани устувории плазма, кам кардани ифлосшавӣ ва баланд бардоштани эътимоднокии равандҳо дар системаҳои пешрафтаи истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст.

Чаро Semixlab-ро интихоб кунед?

Semixlab ба ҷузъҳои керамикии нимноқилҳои баландсифат барои коркарди плазма ва муҳитҳои пешрафтаи истеҳсоли вафлҳо тахассус дорад.

Мо пешниҳод мекунем:

● Қисмҳои камераи сафолии тозагии баланд

● Қисмҳои эҳтиётии нимноқилҳои дақиқ

● Маҳлулҳои сафолии тобовар ба плазмаи фармоишӣ

● Дастгирии боэътимод барои барномаҳои нимноқилҳои OEM ва fab

Маҳсулоти мо барои қонеъ кардани талаботи қатъии равандҳои муосири истеҳсоли нимноқилҳо тарҳрезӣ шудаанд. Мо самимона умедворем, ки шарики дарозмуддати шумо дар Чин бошем.