Қаиқи тозагии баланд SiC

Киштии баландсифати карбиди кремний (SiC) як интиқолдиҳандаи сафолии баландсифат мебошад, ки барои равандҳои нимноқилҳои ҳарорати баланд, афзоиши кристаллҳо ва коркарди дақиқи гармӣ пешбинӣ шудааст. Он бо маводи ултра-баланди SiC синтеризатсия карда шудааст ва муқовимати аълои ҳарорати баланд, муқовимат ба зарбаи гармӣ ва устувории кимиёвӣ дорад. Он дар диффузияи нимноқилҳо, CVD, эпитаксиияи LED ва афзоиши яккристаллҳои фотоэлектрикӣ васеъ истифода мешавад.

Ариза:

Қаиқи баландсифати SiC як раванди асосии нимноқилест, ки асосан барои интиқол ва интиқоли вафлиҳо дар муҳити ҳарорати баланд истифода мешавад ва дар равандҳои диффузияи вафли кремний, оксидшавӣ, гармкунӣ ва CVD васеъ истифода мешавад. Он махсусан барои равандҳои ҳарорати баланди нимноқилҳои насли сеюм (ба монанди SiC/GaN) ва дастгоҳҳои пурқувват мувофиқ аст.

Хизматҳое, ки метавонанд пешниҳод карда шаванд:

Таҳлили сенарияи дархости муштариён, маводҳои мувофиқ, ҳалли мушкилоти техникӣ.

Чеҳраи Ширкат:

Semixlab дорои 2 лаборатория, як гурӯҳи коршиносон бо таҷрибаи моддии 20 сола, дорои қобилияти R&D ва истеҳсолӣ, озмоиш ва санҷиш мебошад.

техникӣ

Майдонҳои асосии татбиқ

Тасдиқи занҷираи экологӣ

Санҷиши занҷири экологии Semixlab High-Purity SiC Boat ашёи хомро барои истеҳсолот фаро мегирад, аз сертификатсияи стандарти байналмилалӣ гузаштааст ва дорои як қатор технологияҳои патентонидашуда барои таъмини эътимоднокӣ ва устувории он дар соҳаи нимноқил ва энергетикаи нав мебошад.

Раванди маъмулии дархост

Омодасозии ашёи хом (хокаи баландсифати SiC) → Раванди шаклдиҳӣ (пресскунии хушк/пресскунии изостатикӣ) → Раванди синтеризатсия → Коркард ва коркарди рӯизаминӣ (сустакунии CNC/ҷилҳадкунӣ, сӯзиши кимиёвӣ, тозакунӣ) → Пуркунӣ ва CVD → Назорати сифат → Бастабандӣ

Тавассути оптимизатсияи параметрҳои пешрафтаи раванд, тарҳи беназири сохтории Semixlab High-Purity SiC Boat устувории аълои вафлиро таъмин намуда, хатари олудашавии зарраҳоро ба таври назаррас коҳиш медиҳад. Мӯҳлати хидматрасонии он метавонад нисбат ба қаиқҳои анъанавии кварцӣ 5-8 маротиба зиёдтар бошад, ки онро як ҳалли беҳтарин барои коркарди вафли ҳарорати баланд табдил медиҳад. Ин навоварӣ ба он имкон медиҳад, ки воридотро дар бозори нимноқилҳо тадриҷан иваз намуда, ҳалли баландсифат ва камхарҷи дохилиро таъмин намояд.

Барои тавсифи муфассали техникӣ, варақаҳои сафед ё тартиби санҷиши намунавӣ, лутфан бо Гурӯҳи дастгирии техникии мо тамос гиред, то бифаҳмед, ки чӣ гуна Semixlab метавонад самаранокии раванди шуморо баланд бардорад.

Бартариҳои асосии Semixlab High-Purity SiC Boat

1. Тозагии аз ҳад зиёд (бартарии асосӣ)

Semixlab Boat High-Purity SiC дорои покии ултра баланд аст (≥99.9999%) ва таркиби наҷосат (Fe, Al, Na ва ғайра) дар сатҳи 1 ppm назорат карда мешавад, то ифлосшавии вафлиҳо ё маводи эпитаксиалӣ пешгирӣ карда шавад, ки махсусан барои истеҳсоли нимноқилҳои SiC/GaN мувофиқ аст.

2. Беамалии химиявӣ (муқовимат ба зангзанӣ)

Ба эрозияи кислота, сілтӣ/плазма тобовар аст ва метавонад ба газҳои зангзананда, аз қабили HF, HCl, H2 (масалан, равандҳои нимноқилӣ) муқовимат кунад. Дар ҳарорати баланд газ бароварда намешавад.

3. Қувваи механикӣ ва мӯҳлати истифода

Сахтии ултра баланд, муқовимати аълои фарсудашавӣ, хатари рехтани зарраҳоро коҳиш медиҳад ва мӯҳлати хидматро дароз мекунад (одатан аз 3 то 5 маротиба аз киштии кварцӣ). Дар ҳарорати баланд ба осонӣ деформатсия карда намешавад ва ҳамвории вафлиро нигоҳ медорад (масалан, печи дар печи диффузионӣ <0.1мм).

4. Мутобиқати равандҳо

Мутобиқ шудан ба муҳитҳои гуногуни сахт, атмосфераҳои оксидшавӣ/камшавӣ (ба монанди O2, H2, Ar) ва равандҳои пӯшиши CVD/PVD. Сатҳи онро метавон фармоиш дод, ба монанди сайқал додан (Ra<0.1μm) ё пӯшиш (ба монанди SiO2) барои минбаъд кам кардани ифлосшавӣ.