Кӯраи гарми фишордиҳии вакуумӣ барои пайваст кардани тухми кристаллии SiC

Пайванди кристаллҳои тухмӣ яке аз равандҳои муҳимест, ки ба афзоиши кристаллҳо таъсир мерасонад. Бар асоси хусусиятҳои пайванди кристаллҳои тухмӣ, Semixlab таҷҳизоти махсуси гарми вакуумӣ барои пайванди кристаллҳои тухмӣ таҳия кардааст. Ин таҷҳизот камбудиҳои гуногунро, ки ҳангоми раванди пайванд ба вуҷуд меоянд, самаранок коҳиш медиҳад ва бо ин васила ҳосили пайванди кристаллҳои тухмӣ ва сифати ниҳоии кристаллҳоро беҳтар мекунад.

Ⅰ. Муқаддима ба таҷҳизоти гарми вакуумии пресскунии кристаллҳои тухмӣ

1. Барои пайваст кардани кристаллҳои тухмӣ пеш аз афзоиши кристаллҳои SiC истифода мешавад;

2. Тухмиҳои часпонидашуда часпиданро дар ҳарорати 2300°C бе ҷудошавӣ нигоҳ медоранд ва ба пайвастшавии 100% беҳубобӣ бо ҳамвории баланд ва сатҳи тозаи вафлӣ, ки аз адсорбсияи ифлосӣ озод аст, ноил мегарданд;

3. Табақи гармидиҳӣ аз гармкунии муқовимати навъи диск истифода мебарад, ки тақсимоти якхелаи ҳарорат, кори бехатар ва коркарди қулайро таъмин мекунад;

4. Сенсорҳои фишор, ки дар зери табақча насб карда шудаанд, фишори ба қисмати корӣ татбиқшударо дақиқ нишон медиҳанд.

II. Шарҳи функсионалии таҷҳизоти пресскунии гарми вакуумии тухмии кристаллӣ

Пӯшиши гарми вакуумии тухмии кристаллии Semixlab барои пахши гарми кристаллҳои тухмии карбиди кремний бо ёрии вакуум пешбинӣ шудааст.

1. Камераи металлии дуқабата, ки бо об хунук карда мешавад, ҳарорати сатҳи кӯраро самаранок коҳиш медиҳад, хатарҳои ҳарорати баландро ба ҳадди ақал мерасонад ва таъсири экологӣро кам мекунад;

2. Қобилияти татбиқ ва нигоҳдории худкори фишор, боркунии тадриҷӣ ва ҷойивазкунӣ бо идоракунии автоматӣ;

3. Конфигуратсияҳои гуногуни системаҳои вакуумӣ имкон медиҳанд, ки сатҳҳои гуногуни вакуумро вобаста ба талаботи раванд интихоб кунед;

4. Тақсимоти якхелаи фишор ва дақиқии назорати ҳарорати баланд;

5. Истифодаи фишор аз механизмҳои дақиқи механикии теладиҳӣ барои интиқоли дақиқ ва устувори фишор истифода мебарад, ки кори бехатар ва мутобиқати экологиро таъмин мекунад;

6. Пайвасти муштараки универсалӣ байни сари болоии пресс ва милаи теладиҳанда параллелизми мутобиқшавандаро байни сари болоӣ ва табақи поёнӣ ҳангоми пресскунӣ кафолат медиҳад ва тақсимоти якхелаи фишорро таъмин мекунад;

7. Сарпӯши болоии пресс дорои фишори болиштӣ барои интиқоли ҳамвор ва нарми қувва бидуни таъсир ва пешгирии шикастани қисмати корӣ мебошад;

8. Сенсорҳои ҳарорат, ки ба интерфейси плитаи интиқоли гармӣ бо танзимгари ҳарорат муттаҳид карда шудаанд, имкон медиҳанд, ки ҳарорати дақиқи гармкунӣ ва назорати барномавӣ таъмин карда шавад;

9. Ҳам паллет ва ҳам сари болоии пресс дорои дастгоҳҳои изолятсия барои кам кардани талафоти гармӣ мебошанд.

3. Иқтидор ва хусусиятҳои таҷҳизоти вакуумии гарми пресскунии кристаллии тухмии Semixlab

1. Истихроҷи тадриҷии вакуумӣ бо суръати назоратшавандаи насоскунӣ;

2. Камераи калон барои имконияти фаровони такмилдиҳӣ;

3. Сарпӯши устувори пресс бо кори автоматӣ;

4. Идоракунии афзоянда ва раҳоӣ аз фишор бо танзими худкори нишебӣ ва рецепт;

5. Назорати дақиқи ҳарорат бо давраҳои барномарезишавандаи ҳарорат ва фишор;

6. Параметрҳои вакуум, фишор ва ҳароратро барои равандҳои гуногуни пайвандкунӣ танзим кардан мумкин аст;

7. Пайванди зич бо сифр ҳубобчаҳо;

8. Суръати хеле пасти шикастан — қариб ки шикастани аз ҷониби дастгоҳ ба вуҷудомада вуҷуд надорад;

9. Мутобиқат: Вафлиҳои 6-12 дюймаро дастгирӣ мекунад;

10. Фишори ҳадди аксар ба поён: 1.6 Т;

11. Вакууми ниҳоӣ: 5 Па (хунук);

12. Heating platform temperature uniformity: <±3℃, σ<4 (at 200℃);

13. Pressure fluctuation: <0.5%.

Параметрҳои кӯраи пресскунии гарм барои пайваст кардани тухмӣ