Баффли ҷараёни нимноқили кварц

Ⅰ. Хусусиятҳои моддӣ ва рӯизаминӣ

● Мавод: Кремнийи тозаи баланд (кварси синтетикӣ ё табиӣ, тозагӣ ≥99.99%).

● Муқовимати гармӣ: Иҷрои устувор дар ҳарорати доимӣ то 1200°C.

● Коркарди рӯизаминӣ: Сатҳи ултра ҳамвор, бо дақиқ сайқал додашуда барои пешгирӣ кардани часпиши зарраҳо.

● Тавсеаи гармӣ: Коэффисиенти пасти васеъшавӣ (5.5×10⁻⁷/°C) устувории андозагириро таъмин мекунад.

● Муқовимати кимиёвӣ: Инерт ба газҳои зангзананда ба монанди HCl, NH₃ ва SiH₄.

Ҳар як пардаи ҷараён аз санҷиши ҷиддии сифати рӯизаминӣ, дақиқии андоза ва назорати ҳубобӣ мегузарад, ки покӣ ва эътимоднокии пайвастаро дар ҳар як гурӯҳи истеҳсолот таъмин мекунад.

Ⅱ. Вазифаҳои асосӣ дар равандҳои нимноқилҳо

Quartz Flow Baffle ҳамчун ҷузъи назорати ҷараёни асосӣ ва танзими гармӣ дар дохили камераҳои коркарди нимноқилҳои баландҳарорат хизмат мекунад. Функсияи он аз танҳо роҳнамоии газҳо дуртар аст - он дар мӯътадил кардани муҳити раванд, баланд бардоштани истифодаи мавод ва таъмини якрангии вафли ба пластинка нақши бисёрфунксионалӣ мебозад.

1. Тақсимоти ягонаи ҷараёни газ

Дар равандҳое, ба монанди LPCVD, PECVD ва эпитакси, интиқоли якхелаи газ барои ноил шудан ба афзоиши пайвастаи филми тунук ва тақсимоти допант муҳим аст. Геометрияи бодиққат тарҳрезишудаи халтаи ҷараёни кварц, аз ҷумла каналҳои ҷараёни кунҷи он, каҷкунии каҷ ва фосилаи оптимизатсияшуда - кафолат медиҳад, ки газҳои реактивӣ дар сатҳи вафли баробар паҳн мешаванд. Бо нигоҳ доштани шакли ҷараёни ламинарӣ, пардаи ҷараён кафолат медиҳад, ки ҳар як вафли дар дохили партия шароити якхелаи таъсири газро аз сар мегузаронад ва ба ин васила устувории ҳосил ва мутобиқати дастгоҳро беҳтар мекунад.

2. Муътадилгардонии майдони гарми ва тавозуни интиқоли гармӣ

Ҳангоми равандҳои ҳарорати баланд, аз қабили оксидшавии гармӣ ё афзоиши эпитаксиалии Si, ҳатто тағироти ночиз дар тақсимоти ҳарорат метавонад ба нуқсонҳои кристаллӣ, дислокатсия ё фишори филм оварда расонад.

Сарпӯши ҷараёни кварц ҳамчун модератори гармӣ кор мекунад:

● Градиентҳои ҳароратро байни марказ ва канори қаиқи вафли ҳамвор мекунад

● Мувозинати гармии шуоъдиҳандаро дар дохили танӯр кам мекунад

● Зарбаҳои гармиро дар давраҳои баландшавии ҳарорат ва пастшавии ҳарорат коҳиш медиҳад

3. Пешгирии ифлосшавӣ ва тозагии раванд

Дар истеҳсоли нимноқилҳо назорати ифлосшавӣ муҳим аст. Ифлосшавии металлӣ ё зарраҳо метавонад ҳосили дастгоҳро ба таври ҷиддӣ коҳиш диҳад. Баффли Quartz Flow, ки аз кремнийи омехтаи синтетикии ултра тоза (SiO₂ ≥ 99.99%) сохта шудааст, ба камераи раванд ионҳои металлӣ ё пасмондаҳои карбон ворид намекунад. Сатҳи ҳамвор ва рахнанопазири он ҷамъшавии маҳсулоти иловагии реаксия ва рехтани зарраҳоро пешгирӣ мекунад. Ин устувории дараҷаи тозаро барои равандҳои муҳим, аз қабили ташаккули оксиди дарвоза, допинги диффузӣ ва таҳшиншавии диэлектрики CVD таъмин мекунад.

Semixlab Quartz Flow Baffle на танҳо як ҷузъи ғайрифаъол аст, 一 он як омили муҳими устувории раванд, якрангии газ ва оптимизатсияи ҳосил мебошад. Тавассути тарҳрезии пешрафтаи динамикаи ҷараёни худ, мувозинати гармӣ ва таркиби маводи ултра тоза, он кафолат медиҳад, ки ҳар як ваффер муҳити дақиқи назоратшавандаи равандро мегирад, ки барои сохтани дастгоҳи насли оянда муҳим аст.