EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Tube диффузияи кварси тозагии баланд
Semixlab як истеҳсолкунандаи пешбари ҷузъҳои кварц дар Чин аст, ки ба тарҳрезӣ ва истеҳсоли найҳои диффузияи кварси тозаи баланд барои равандҳои оксидшавӣ, диффузия ва коркарди нимноқилҳо тахассус дорад. Ҳар як қубур аз кремнийи ултра тозаи омехта (≥99.99% SiO₂) сохта шудааст ва тавассути ташаккули дақиқ ва назорати қатъии ифлосшавӣ тоза карда шудааст, ҳар як қубур устувории барҷастаи гармӣ ва сатҳи ултра пасти наҷосати металлиро таъмин мекунад. Мунтазири машварати минбаъдаи шумо.
Тавсифи
Tube кварции диффузии баландсифати Semixlab махсусан барои равандҳои гармии баланд дар истеҳсоли нимноқилҳо, аз ҷумла оксидшавӣ, диффузияи допант ва тозакунӣ тарҳрезӣ шудааст.
Ҳар як лӯла аз кремнийи омехтаи ултра-баланди тоза (≥99.99% SiO₂) истеҳсол шудааст, ки барои таъмини устувории истисноии кимиёвӣ, ифлосшавии ҳадди ақал ва якрангии дақиқи гармӣ пешбинӣ шудааст, ки натиҷаҳои коркарди пайвастаи вафлиро дар муҳити пурқуввати ҳуҷраи тоза таъмин мекунад.
Новобаста аз он ки ба печҳои диффузии амудӣ ё уфуқӣ муттаҳид карда мешаванд, қубурҳои кварси Semixlab дақиқ сохта шудаанд ва барои қонеъ кардани талаботҳои қатъии IC, LED, MEMS ва истеҳсоли дастгоҳи барқ санҷида мешаванд.
Барномаҳо
Барномаҳо дар равандҳои нимноқилҳо
1. Оксидшавии ҳароратӣ
Дар печҳои оксидшавии ҳароратӣ, қубурҳои диффузияи кварц ҳамчун камераи ибтидоии реаксия амал мекунанд, ки дар он вафли кремний ба буғи O₂ ё H₂O дар ҳарорати баланд (900-1150 ° C) дучор мешавад.
● Муҳити тоза ва устувори оксигенро барои афзоиши якхелаи SiO₂ таъмин мекунад.
● Олудашавии ионҳои металлиро нест мекунад ва якпорчагии баланди диэлектрикиро барои оксидҳои дарвоза ва изолятсия таъмин мекунад.
Tube кварси тозагии баланд барои коркарди вафель беҳтарин аст
2. Диффузияи допант
Қубурҳои диффузияи кварц барои паҳн кардани атомҳои допант (ба монанди фосфор ё бор) ба субстрати кремний барои эҷод кардани профилҳои пайванди дилхоҳ истифода мешаванд.
● Беэътибории аълои кимиёвӣ ифлосшавиро ҳангоми реаксияҳои POCl₃ ё BBr₃ пешгирӣ мекунад.
● Ҳатто дар атмосфераи бар галоген асосёфта тозагии баландро нигоҳ медорад.
3. Равандҳои коркард ва коркард
Пас аз имплантатсия ё ҷойгиркунии ионҳо, вафлиҳо барои фаъол кардани допантҳо ва таъмири осеби торҳо аз гармии баланд мегузаранд.
● Қубурҳои кварцӣ як камераи гармидиҳии якхела ва ифлосшавии камро барои натиҷаҳои устувор ва такроршаванда таъмин мекунанд.
● Барои ҳам барои N₂ ва ҳам барои ташаккули муҳити гармкунии газ мувофиқ аст.
4. LPCVD ва R&D коркарди гармидиҳӣ
Дар миқёси хурди LPCVD ё печҳои тадқиқотӣ, қубурҳои диффузияи кварц метавонанд ҳамчун камераи реаксия ва нигоҳдорӣ хидмат кунанд.
● Идеалӣ барои таҳшини полиссиликон, нитриди кремний ва филмҳои оксиди.
● Ташаккули заррачаҳои кам ва такроршавандагии баландро дар тӯли давидан таъмин мекунад.
Афзалияти рақобат
Афзалиятҳои Semixlab
1. Позагии моддӣ ва пайгирӣ
Ҳар як найчаи кварц аз кремнийи ултра тозаи омехта сохта шудааст, ки аз таъминкунандагони сертификатсия гирифта шудааст. Ҳисоботи таҳлили ICP-MS тибқи дархост дастрас аст, ки пайгирии ҳар як партияро кафолат медиҳад.
2. Precision Manufacturing & Customization
Semixlab тарҳҳои фармоиширо барои қонеъ кардани андозаҳои мушаххаси кӯраҳо, профилҳои гармӣ ва шакли ҷараёни газ, ки муштариён талаб мекунанд, пешниҳод мекунад.
Имконот иборатанд аз:
● Конфигуратсияҳои қубурҳои амудӣ ё уфуқӣ
● Диаметрҳои фармоишӣ, ғафсии девор ва ҳалқаҳои ниҳоӣ
● Анҷомҳои рӯизаминии сайқалёфта ё кандашуда
● Тарҳҳои махсуси коркард барои интиқолдиҳандаҳои бисёрқабата
3. Санҷиши дақиқ ва кафолати сифат
Ҳар як найчаи диффузия пеш аз интиқол аз санҷиши андозагирӣ, санҷиши якпорчагии рӯи замин ва моделиронии фишори гармӣ мегузарад. Ин мутобиқатро бо системаҳои пешқадами печҳои диффузии саноат ба монанди TEL, Kokusai, Centrotherm ва ASM таъмин мекунад.
