Графити сӯрохии покизагии баланд

Графити сӯрохии баландсифат маводи муҳим барои истеҳсоли пешрафтаи нимноқилҳо мебошад, ки дар он устувории гармии истисноии он, сатҳи хеле пасти ифлосшавӣ ва мувофиқати равандҳо дар ҷои аввал меистанд. Маҳлулҳои графити сӯрохии баландсифати Semixlab махсусан барои равандҳои нимноқилҳои ҳарорати баланд ва ҳассос ба ифлосшавӣ тарҳрезӣ шудаанд.

Дар равандҳои эпитаксия, графити сӯрохии баландсифат дар ҷузъҳои калидӣ, аз қабили нигоҳдорандагони субстрат, интиқолдиҳандаҳои вафлҳо, сохторҳои тақсимоти газ ва унсурҳои майдони гармӣ васеъ истифода мешавад. Ҳангоми афзоиши эпитаксиалии Si, SiC ва GaN, якрангии дақиқи ҳарорат ва ҷараёни устувори газ омилҳои муҳим барои назорати ғафсии плёнка, якрангии допинг ва пахш кардани нуқсон мебошанд. Микросохтори сӯрохии графити Semixlab тақсимоти якранги гармӣ ва паҳншавии газро дар сатҳи вафл имкон медиҳад, ки бо ин васила ноустувории қабати марзӣ ва таъсири канорҳоро коҳиш медиҳад.

Ҳангоми равандҳои диффузия ва оксидшавӣ, ки кори доимии зиёда аз 1000 °C-ро талаб мекунанд, графити сӯрохии баландсифат ҳамчун маводи боэътимоди сохторӣ ва такягоҳ барои киштиҳои вафли, лайнерҳо ва ҷузъҳои изолятсияи гармӣ хизмат мекунад. Дар муқоиса бо графити зич, сохтори сӯрохии он фишори гармӣ ва деформатсияро ҳангоми даври такрории гармӣ коҳиш медиҳад, устувории андозаро беҳтар мекунад ва мӯҳлати кори ҷузъҳоро дароз мекунад. Ноустувории кимиёвии он ва миқдори ками ифлосӣ ба нигоҳ доштани муҳити тозаи раванд мусоидат мекунад ва назорати қатъиро аз болои профилҳои диффузияи допинг ва сифати плёнкаи оксид дастгирӣ мекунад ва дар айни замон хатари пайдоиши зарраҳо ва ифлосшавии салибро кам мекунад.

Барои равандҳои CVD, LPCVD ва PECVD, графити сӯрохии баландсифат дар гармкунакҳо, интиқолдиҳандаҳои пластинаҳо ва ҷузъҳои дохилии камера, ки ба газҳои реактивӣ ва ҳарорати баланд дучор мешаванд, нақши муҳим мебозад. Гузаронандагии аълои гармии мавод интиқоли босуръат ва якхелаи гармиро таъмин мекунад, дар ҳоле ки сохтори сӯрохии он имкон медиҳад, ки маҳсулоти иловагии таҳшиншавӣ назорат карда шаванд ва порашавӣ ва ҷудошавии зарраҳо ҳангоми кори тӯлонии таҷҳизот ба ҳадди ақал расонида шавад. Ин мустақиман ба беҳтар шудани устувории раванд, дароз кардани фосилаҳои нигоҳдорӣ ва афзоиши вақти кори таҷҳизот мусоидат мекунад.

Графити сӯрохии баландсифати Semixlab таҳти системаи қатъии назорати сифат, бо идоракунии дақиқи интихоби ашёи хом, тозакунӣ ва муҳандисии микросохтор истеҳсол карда мешавад. Вақте ки мӯҳлати хизмати дароз ё кор дар муҳитҳои кимиёвии серталабтар талаб карда мешавад, ин маҳсулот бо рӯйпӯшҳои пешрафтаи муҳофизатӣ, ба монанди SiC ё TaC мувофиқ аст. Бо истифода аз чандирии истисноии тарроҳӣ, қобилияти коркард ва технологияи пешрафтаи рӯйпӯшкунии нимноқилҳо, роҳҳои ҳалли мо метавонанд ба талаботи мушаххаси платформаи таҷҳизоти нимноқилӣ ва гиреҳи раванди шумо дақиқ мутобиқ карда шаванд. Мо самимона интизори шарики дарозмуддати шумо дар Чин ҳастем.