Графити изостатикии тозаи баланд барои нимноқилҳо

Semixlab Графити изостатикии тозагии баланд, бо сабаби покии баланд, сохтори донаҳои хуб, зичии якхела, муқовимат ба зарбаи гармӣ ва коркарди аъло, дар саноати нимноқилҳо васеъ истифода мешавад. Дар зер маҳсулоти асосии тайёр ва нақшҳои мувофиқи онҳо дар равандҳои муҳим мавҷуданд:

Графити изостатикӣ барои барномаҳои нимноқил

1. Дар MOCVD (Таҳвили буғи химиявии металлӣ-органикӣ)

MOCVD як раванди аслӣ барои сохтани қабатҳои эпитаксиалии GaN, GaAs ва SiC мебошад. Графити изостатикӣ одатан барои истеҳсол истифода мешавад:

● Ҳассосиятҳо: Ҳамчун интиқолдиҳандаи вафли, ки вафлиҳоро дар дохили реактор нигоҳ медоранд ва гардиш мекунанд, хизмат мекунанд. Онҳо интиқоли якхелаи гармиро таъмин намуда, афзоиши пайвастаи эпитаксиалиро дар сатҳи вафли таъмин мекунанд. Одатан бо CVD SiC ё TaC барои беҳтар кардани муқовимати кимиёвӣ ва дароз кардани мӯҳлати кор фаро гирифта мешаванд.

● Интиқолдиҳандаҳои вафли / қаиқҳои графитӣ: Барои бор кардани вафли сершумор дар як вақт истифода мешавад. Онҳо коркарди дақиқро талаб мекунанд, то ҳамвории вафлиро нигоҳ доранд ва ифлосшавӣ пешгирӣ кунанд.

● Унсурҳои гармкунак: Гармкунакҳои графитӣ майдонҳои гармидиҳии устувор ва якхеларо барои эпитаксияи баландсифат таъмин мекунанд.

Нақши асосӣ: Графити изостатикӣ якрангии ҳарорат, устувории кимиёвӣ ва мӯҳлати хизмати дарозро таъмин мекунад, ки бевосита ба сифати филми эпитаксиалӣ таъсир мерасонад.

2. Дар оташдонҳо ва печҳои диффузӣ

Қадамҳои коркарди гармии баланд, ба монанди диффузияи допант, оксидшавӣ ва тозакунӣ, асосан ба ҷузъҳои изостатикии графит такя мекунанд, аз ҷумла:

● Қаиқҳои оташдонҳои диффузӣ: Вафлиҳоро ҳангоми гармкунии ҳарорати баланд ва равандҳои диффузияи допант нигоҳ доред. Графит устувории аълои гармӣ ва деформатсияи ҳадди ақалро дар давраи гардиши гармии такрорӣ таъмин мекунад.

● Лавозимот ва ҷузъҳои изолятсия: Линзаҳо ва сипарҳои графитӣ камераҳои танӯрро аз ифлосшавӣ муҳофизат мекунанд ва якрангии ҳароратро беҳтар мекунанд.

● Қубурҳои гармкунак ва унсурҳо: Ҳамчун гармкунакҳои муқовимат дар муҳитҳои ҳарорати баланд истифода мешаванд, ки гармии дақиқ ва доимиро таъмин мекунанд.

Нақши асосӣ: Ҷузъҳои изостатикии графит имкон медиҳанд, ки коркарди гармии бе ифлосшавӣ, устувор ва такроршавандаро фароҳам оранд, ки барои фаъолсозии допант ва кам кардани камбудиҳо муҳиманд.

3. Дар Epitaxy SiC (афзоиши 4H-SiC, 6H-SiC)

Афзоиши эпитаксиалии SiC ҳарорати хеле баланд (> 1500 ° C) ва муҳити гази зангзанандаро талаб мекунад. Графити изостатикӣ барои истеҳсол истифода мешавад:

● Сусепторҳои бо SiC-пӯшонидашуда: Ҳангоми эпитаксияи SiC дастгирии субстратро таъмин намуда, тақсимоти аълои гармӣ ва устувории сатҳи рӯиро дар шароити шадид таъмин мекунанд.

● Падлҳои Графитӣ ва Дорандагони Вафли: Вафлиҳоро ҳангоми гардиш ва ҷараёни газ эмин нигоҳ дошта, суръати якхелаи афзоиш ва ғафсии қабатро таъмин мекунанд.

● Ҷузъҳои найчаи коркард: Қисмҳои графити сохтории дохили реакторҳои эпитаксия ҳангоми нигоҳ доштани тозагӣ ба муҳити хашмгин тоб меоранд.

Нақши асосӣ: Графити изостатикӣ дар epitaxy SiC дақиқии андозагирӣ, муқовимати кимиёвӣ ва идоракунии боэътимоди гармиро таъмин мекунад, ки бевосита ба ҳосили вафли ва якрангии филми эпитаксиалӣ таъсир мерасонад.

Ҳамчун як таъминкунандаи пешбари графити изостатикии баландсифат дар Чин, Semixlab ӯҳдадор аст, ки маҳсулоти пешрафта ва ҳалли техникӣ барои саноати коркарди нимноқилҳоро пешниҳод кунад. Мо дархостҳои шуморо дар вақти дилхоҳ истиқбол мекунем ва самимона умедворем, ки шарики дарозмуддати шумо мешавем.