Сарпӯши бо пӯшонидашудаи карбиди тантал TaC

Ҳамчун истеҳсолкунандаи пешбари чинӣ дар истеҳсоли рӯйпӯшҳои пӯшонидашудаи карбиди тантал (TaC), лавҳаҳои рӯйпӯши пӯшонидашудаи TaC аз Semixlab барои муҳитҳои пешрафтаи афзоиши эпитаксиалии нимноқилҳо тарҳрезӣ шудаанд. Дар ин муҳитҳо, ҳарорат, устувории кимиёвӣ ва назорати ифлосшавӣ омилҳои муҳими муайянкунандаи ҳосилнокии дастгоҳ мебошанд. Ин рӯйпӯшҳои пӯшонидашуда махсусан барои реакторҳои эпитаксиалии Si, SiC ва GaN тарҳрезӣ шудаанд, ки ҳамчун қабати муҳими мӯҳркунӣ ва муҳофизаткунанда дар дохили камераи реаксия амал мекунанд ва сатҳҳои дохилиро аз зангзанӣ ва олудагии зарраҳо муҳофизат мекунанд.

Афзоиши эпитаксиалии нимноқилҳо, ба монанди эпитаксии Si/SiC/GaN, дар шароити хеле душвори раванд ташаккули плёнкаҳои тунуки бе нуқсонро талаб мекунад. Пешгузаштаҳои гидроген, газҳои хлорӣ, аммиак ва гидрокарбон дар камераҳо дар ҳарорате, ки аксар вақт аз 1500°C зиёд аст, пайваста реаксия мекунанд. Рӯйпӯшҳои анъанавии камера дар зери ин фишори кимиёвӣ ва гармӣ зуд вайрон мешаванд, ки боиси рехтани зарраҳо, ифлосшавии металл ва кӯтоҳ шудани фосилаҳои нигоҳдории пешгирикунанда мегардад. Рӯйпӯшҳои пӯшонидашудаи TaC-и мо бо нуқтаи обшавии ултрабаланд (тақрибан 3880°C), муқовимати олии плазма ва кимиёвӣ ва сохтори пӯшиши зич ва пастсӯрохӣ боқимондаҳои реаксияи сатҳро самаранок пахш мекунанд. Ин тозагии дохили камераро таъмин мекунад ва механизмҳои пайдоиши нуқсонҳоро, ба монанди зарраҳо, пайдоиши сӯрохиҳои сатҳӣ ва паҳншавии нуқсонҳои ҷамъшударо дар пластина коҳиш медиҳад.

Дар реакторҳои эпитаксиалӣ, якрангии гармӣ ва устувории ҷараёни газ барои мутобиқати байни вафлҳо муҳиманд. Бо нигоҳ доштани якпорчагии сохторӣ ва сатҳҳои сарҳадии ғайриреактивӣ, рӯйпӯшҳои пӯшонидашудаи TaC ба нигоҳ доштани симметрияи камера ва мувозинати гармӣ мусоидат мекунанд ва афзоиши яксони қабати эпитаксиалӣ ва воридшавии допантҳоро дар байни вафлҳои сершумор таъмин мекунанд. Бо кам кардани ифлосшавӣ ва дароз кардани мӯҳлати хизмат, корхонаҳо метавонанд ба манфиатҳои назарраси амалиётӣ ноил шаванд: кам кардани вақти корношоямӣ, кам кардани арзиши умумии моликият, вақти кории оптимизатсияшудаи таҷҳизот ва назорати сахттари раванд.

Рӯйпӯшҳои пӯшонидашудаи TaC аз Semixlab бо истифода аз технологияи пешрафтаи ҷойгиркунии пӯшиши тантал карбиди CVD, назорати часпакии микросохтор ва метрологияи дақиқ истеҳсол карда мешаванд, то якпорчагии пӯшиш, якрангии ғафсӣ ва муқовимати зарбаи гармиро таъмин кунанд. Рӯйпӯшҳои муҳофизатӣ метавонанд барои танӯрҳо, MOCVD, LPCVD ва платформаҳои эпитаксиалии амудии SiC/Si тарҳрезии фармоишӣ карда шаванд. Мо самимона интизори шарики дарозмуддати шумо дар Чин бошем.