EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Эффектори интиқоли вафли
Semixlab Alumina Ceramic Wafer Transfer End Effector устувории беҳамтои механикӣ, тозагӣ ва муқовимат ба зангзаниро барои автоматикунонии муосири вафли нимноқил таъмин мекунад. Бо омезиши коркарди алюминийи баландсифат, коркарди дақиқ ва аълои коркарди рӯизаминӣ, Semixlab фабрикаҳои ҷаҳонии вафлиро барои ба даст овардани ҳосили баланд, сатҳи пасти камбудиҳо ва вақти дарозтари кори таҷҳизот дастгирӣ мекунад. Дар ҳама вақт интизори машварати шумо.
Тавсифи
Ⅰ. Афзалиятҳои моддӣ ва ҷисмонӣ
Effector Semixlab Wafer Transfer End аз сафолии баландсифати гилхок (Al₂O₃) истеҳсол шудааст, ки барои таъмини устувории истисноии механикӣ ва гармӣ дар муҳити пешрафтаи коркарди нимноқилҳо сохта шудааст.
Ин ҷузъи дақиқ барои тозагии баланд, устувории сохторӣ ва муқовимати дарозмуддат ба газҳои плазма ва зангзананда тарҳрезӣ шудааст - ин онро интихоби афзалиятнок барои коркарди вафель дар CVD, PECVD, таҷҳизоти оксидшавӣ ва эпитаксия месозад.
Афзалиятҳои асосии мавод:
● Софӣ ≥ 99.5%: Олудашавии ионҳои металлии сифрро таъмин намуда, тамомияти сатҳи вафлиро нигоҳ медорад.
● Сахтии баланд (Mohs ~9): Муқовимати истисноӣ ба абрешим барои тамоси такрории вафли.
● Устувории гармӣ то 1000°C: Идеалӣ барои амалиёти интиқоли вафли гарм.
● Изолятсияи аълои барқ: Муқовимати ҳаҷм >10¹⁴ Ω·cm зарари ESD-ро пешгирӣ мекунад.
● Андозаи сатҳи ултра ҳамвор (Ra ≤ 0.02 мкм): Харошидан ва тавлиди заррачаҳоро кам мекунад.
● Муқовимати қавӣ ба кимиёвӣ ва плазма: Ба таъсири HF, Cl₂, CF₄ ва O₂ тобовар аст.
Дар муқоиса бо алтернативаҳои таркибии кварц ё карбон, керамикаи алюминий сахтӣ, покӣ ва дарозумрӣ дар шароити гардиши гармидиҳӣ ва вакуумии такрорӣ пешниҳод мекунад.
Ⅱ. Мушкилоти умумии равандҳо ва ҳалли муҳандисӣ
| Мушкилот | Сабаб | Solutions Engineering Semixlab |
| Насли зарраҳо | ноҳамворӣ ё микро тарқишҳо аз коркарди такрорӣ | сайқал додани оина (Ra ≤ 0.02 мкм) ва пардаи дақиқ; тозакунии мунтазами ултрасадо |
| Лағжиши вафли | Созиши нобаробари рӯизаминӣ ё тақсимоти сусти вакуум | Геометрияи чуқури оптимизатсияшуда ва рӯйпӯши микротекстура барои чанги мукаммали вафли |
| Таъмини заряди статикӣ | Пардохти заряди нокифоя дар зери вакуум | Истифодаи композити нимноқили Al₂O₃-TiO₂ барои беҳтар кардани озодшавии заряд |
| Эрозияи плазма ё ҳамлаи кимиёвӣ | Таъсири доимии газҳои зангзананда | Истифодаи зичи синтеризатсияшудаи Al₂O₃ (>99.8%) бо пӯшишҳои SiC ё Y₂O₃ барои ҳифзи рӯизаминӣ |
| Зарари зарбаи гармидиҳӣ | Гузаришҳои босуръати ҳарорат дар байни минтақаҳои раванд | Тарҳрезии гилхок бо CTE паст ва протоколҳои пеш аз гармкунӣ барои коҳиш додани стресс |
Барномаҳо
Нақшҳо ва барномаҳо дар равандҳои нимноқилҳо
Semixlab Wafer Transfer End Effector ҳамчун интерфейси муҳим байни системаҳои коркарди роботӣ ва вафли силиконии нозук хидмат мекунад, ки интиқоли дақиқ, устувор ва бидуни ифлосиро байни камераҳои коркард таъмин мекунад.
Сенарияҳои асосии татбиқ:
1. Вафель бор кардан ва борфарорй
Дар оташдонҳои LPCVD, PECVD ва оксидшавӣ истифода мешаванд, эффекторҳои ниҳоии гилхок мутобиқати вафлиро нигоҳ медоранд ва ҳангоми ворид кардан ва хориҷ кардан аз камераҳои раванд микро-ларзишро нест мекунанд.
2. Системаҳои коркарди роботӣ
Ин эффекторҳо ба модулҳои интиқоли вафли автоматӣ муттаҳид карда шудаанд, ки дақиқии такроршавандаи мавқеъро таъмин мекунанд, ки барои фабрикҳои баландсифат ва дақиқи вафли муҳим муҳиманд.
3. Коркарди равандҳои ҳарорати баланд
Бо шарофати устувории аълои гармии худ, эффектори гилхок интиқоли вафли пас аз пошиданро пас аз равандҳои ҳарорати баланд, ба монанди афзоиши эпитаксиалӣ ва тозакунӣ дастгирӣ мекунад.
4. Интегратсияи палатаи плазма ва Etch
Ба газҳои реактивӣ ва эрозияи плазма тобовар аст, эффектори гилхок кори устуворро дар плазма ва системаҳои тозакунӣ таъмин мекунад.
5. Муҳити назорати олудашавӣ
Сатҳи ултра тоза ва ғайрифаъолияти кимиёвии он онро барои гиреҳҳои муҳими раванд (<10 нм) мувофиқ мегардонад, ки дар онҷо ҳатто ифлосшавии пайҳо ба ҳосили дастгоҳ таъсир мерасонад.
Афзалияти рақобат
Афзалиятҳои Effector End Ceramic Semixlab
● Дақиқӣ: Назорати андозагирии сатҳи ISO ва ҳамвории зермикронӣ барои тамоси устувори вафли.
● Позаӣ: 100% маводи ба ҳуҷраи тоза мувофиқ бо санҷиши ҷиддии хориҷшавӣ ва ифлосшавӣ.
● Мутобиқсозӣ: Дар геометрияҳои гуногун дастрас аст (гурӯҳи канори, навъи вакуум, навъи чангак) барои мувофиқат бо системаҳои гуногуни роботӣ.
● Эътимоднокӣ: Фаъолияти собитшудаи умри худ дар фабрикаҳои нимноқилҳои баландҳаҷм дар саросари ҷаҳон.
Муҳандисони Semixlab пайваста технологияҳои коркард ва пӯшиши сафолиро такмил медиҳанд, то дақиқии андоза, тавлиди ҳадди ақали зарраҳо ва мӯҳлати дарозтари фаъолияти ҳар як эффекторро таъмин кунанд. Мо самимона интизорем, ки ба шумо маҳсулотҳои касбӣ ва фармоишӣ ва ҳалли техникӣ пешниҳод кунем.
Хизматрасониҳо мо
Дӯкони маҳсулоти Semixlab
