Ҳалқаи сояи кварсӣ 200 мм

Ҳалқаи сояафкани Quartz 200mm (Қисм № 0200-10445) як ҷузъи нимноқилии дақиқ коркардшуда мебошад, ки барои таҷҳизоти коркарди вафли 200 мм тарҳрезӣ шудааст. Он дар ҳифзи канори вафли, назорати тақсимоти плазма ва коҳиш додани ифлосшавии камера ҳангоми коркарди плазма ва таҳшин нақши муҳим мебозад.

Ин ҳалқаи сояафкан, ки аз кварси гудохташудаи тозагии баланд истеҳсол шудааст, муқовимати аъло ба зангзании плазма, устувории гармӣ ва сатҳи олудагии хеле пастро пешниҳод мекунад ва онро барои муҳитҳои серталаби истеҳсоли нимноқилҳо беҳтарин мегардонад.

Дар Semixlab, мо ҷузъҳои кварсии дақиқи баландро пешниҳод менамоем, ки барои қонеъ кардани стандартҳои қатъии таҳаммулпазирии андоза ва покӣ, ки барои таҷҳизоти коркарди нимноқилҳо талаб карда мешаванд, тарҳрезӣ шудаанд.

Маълумоти умумӣ

Ҳалқаи сояафкани кварсии 0200-10445 дар атрофи канори вафл дар дохили камераи коркард насб карда шудааст. Он барои таъмини сояафкании назоратшавандаи периметри вафл тарҳрезӣ шудааст ва ба нигоҳ доштани шароити якхелаи коркард дар тамоми сатҳи вафл мусоидат мекунад.

Ин ҷузъ ба таври васеъ дар камераҳои коркарди кандакорӣ ва системаҳои коркарди плазма истифода мешавад, ки дар он назорати дақиқи канор барои ба даст овардани ҳосили баланди вафл ва якрангии раванд муҳим аст.

Хусусиятҳои сохтории маъмулӣ

Ҳалқаи сояафкани кварсии 0200-10445 бо хусусиятҳои сохторӣ, ки махсусан барои ҳамгироии камераҳои нимноқилӣ оптимизатсия шудаанд, тарҳрезӣ шудааст.

Диаметри дарунии мувофиқ бо вафл: Диаметри дарунӣ дақиқ тарҳрезӣ шудааст, то бо канори вафли 200 мм мувофиқат кунад, ки ҷойгиркунии дақиқ ва таъсири сояафкании мувофиқро таъмин мекунад.

Геометрияи дақиқ коркардшуда: Ин ҷузъ бо таҳаммулпазирии қатъӣ истеҳсол карда мешавад, то ҳамоҳангии дурустро бо қисмҳои атрофи камера ва нигоҳ доштани шароити устувори раванд таъмин намояд.

Сӯрохиҳои ҳамоҳангсозӣ: Бисёре аз тарҳҳо сӯрохиҳои ҳамворкунӣ ё хусусиятҳои ҷойгиркуниро барои таъмини самти дурусти насб дар дохили таҷҳизот дар бар мегиранд.

Ғафсии оптимизатсияшуда: Ғафсии ҳалқа бодиққат назорат карда мешавад, то тавозуни дурустро байни қувваи механикӣ ва самаранокии муҳофизати плазма таъмин намояд.

Андозаи сатҳи ҳамвор: Сатҳи сайқалёфтаи баландсифат пайдоиши зарраҳоро кам мекунад ва мутобиқатро бо муҳити тозаи ҳуҷра беҳтар мекунад.

Нақш дар таҷҳизоти нимноқилҳо

Ҳалқаи сояи кварс дар нигоҳ доштани шароити устувори коркард дар дохили камераҳои плазма нақши муҳим мебозад.

1. Назорати раванди канори вафл

Ҳангоми кандакорӣ ё таҳшинкунии плазма, минтақаи канори вафл метавонад таъсири нобаробари плазмаро эҳсос кунад. Ҳалқаи соя муҳофизати назоратшавандаи периметри вафлро таъмин мекунад ва аз кандакорӣ ё таҳшиншавии аз ҳад зиёд дар канор пешгирӣ мекунад.

Ин ба беҳтар шудани инҳо мусоидат мекунад:

● якрангии канори вафл

● такроршавандагии раванд

● ҳосилнокии дастгоҳ

2. Ҳифзи ҷузъҳои камера

Ҳалқаи соя инчунин ҷузъҳои калидии камераро, аз қабили:

● патрони электростатикӣ (ESC)

● поя ё гармкунак

● сатҳҳои атрофи камера

Бо роҳи бастани таъсири мустақими плазма ва таҳшиншавӣ, он фарсудашавиро кам мекунад ва мӯҳлати кори ин қисмҳои муҳимро дароз мекунад.

3. Устувории тақсимоти плазма

Геометрияи ҳалқа ба танзими ғилофи плазма дар наздикии канори вафл мусоидат мекунад ва ба зичии якхелаи плазма ва назорати беҳтари раванд дар саросари вафл мусоидат мекунад.

4. Камшавии зарраҳо

Бо назорати минтақаҳои таҳшиншавӣ ва муҳофизат кардани сатҳҳои ҳассос, ҳалқаи соя ба кам кардани ташаккули зарраҳо дар дохили камера мусоидат мекунад, ки барои истеҳсоли нимноқилҳои баландсифат муҳим аст.

Мавод ва бартариҳои асосӣ

Ҳалқаи соя аз кварси гудохташудаи тозагии баланд (SiO₂) истеҳсол карда мешавад, ки маводест, ки дар истеҳсоли нимноқилҳо аз сабаби хосиятҳои барҷастаи кимиёвӣ ва гармии худ васеъ истифода мешавад.

Муқовимати баланди плазма:

Кварц ба муҳитҳои плазмавии фтор ва хлор, ки одатан дар равандҳои кандакории нимноқилҳо истифода мешаванд, муқовимати аъло нишон медиҳад. Ин мӯҳлати хизмати дароз ва кори устуворро таъмин мекунад.

Олудашавии хеле кам:

Кварси тозагии баланд дорои сатҳи хеле пасти ифлосшавии металлӣ мебошад, ки ба кам кардани хатари ифлосшавӣ дар камераи коркард ва нигоҳ доштани сифати вафл мусоидат мекунад.

Устувории олии гармӣ:

Маводҳои кварсӣ муқовимати аълои зарбаи гармӣ ва устувории ҳарорати баландро таъмин мекунанд, ки ба ҳалқаи соя имкон медиҳад, ки дар зери давраҳои такрории гармкунӣ ва хунуккунӣ дар камераҳои плазма боэътимод кор кунад.

Беэътибории аълои кимиёвӣ:

Кварц дар муҳитҳои сахти коркарди нимноқилҳо аз ҷиҳати кимиёвӣ устувор боқӣ мемонад ва таназзул ва пайдоиши зарраҳоро коҳиш медиҳад.

Қобилияти коркарди дақиқ:

Бо истифода аз равандҳои пешрафтаи коркард ва сайқалдиҳӣ, кварц метавонад ба таҳаммулпазирии андозагирии сахт ва сатҳи ҳамвор ноил гардад, ки барои шароити устувори коркарди вафл муҳиманд.