0200-10243 Ҳалқаи сояафкан 150 мм

1. Шарҳи маҳсулот

AMAT 0200-10243 Shadow Ring 150mm як ҷузъи истеъмолии кварсии дақиқи баланд аст, ки барои истифода дар системаҳои коркарди нимноқилҳои 150 мм, бахусус дар камераҳои кандакорӣ ва CVD пешбинӣ шудааст.

Ин ҳалқаи сояафкан, ки аз кварси бо тозагии баланд гудохташуда истеҳсол шудааст, барои тоб овардан ба муҳитҳои сахти плазма тарҳрезӣ шудааст ва ҳамзамон устувории андоза ва сатҳи пасти ифлосшавиро нигоҳ медорад. Он махсусан барои мувофиқат ба платформаҳои маводҳои истифодашуда тарҳрезӣ шудааст, ки мутобиқат ва ҳамгироии боэътимоди равандҳоро таъмин мекунад.

Дар Semixlab Technology, мо ҳалқаҳои сояи ивазкунандаи босифатро бо назорати қатъии тозагии мавод, дақиқии коркард ва анҷоми рӯизаминӣ барои қонеъ кардани талаботи қатъии истеҳсоли пешрафтаи нимноқилҳо пешниҳод менамоем.

2. Мавқеъ дар таҷҳизот ва нақши функсионалӣ

Ҳалқаи соя дар атрофи периметри берунии пластина дар дохили камераи коркард насб карда шудааст, ки интерфейси муҳимро байни канори пластина ва муҳити плазмаи атроф ташкил медиҳад.

Ҷойгиркунии маъмулӣ:

● Гирди пластина дар паҳлӯи патрони электростатикӣ (ESC) ё суссептор

● Дар минтақаи таъсири плазма ҷойгир аст

● Дар байни канори вафл ва девори камера ҷойгир шудааст

Нақши функсионалӣ дар система:

● Ҳамчун қабати сарҳадии физикӣ ва равандӣ амал мекунад

● Тақсимоти плазма ва рафтори майдони электрикии канорӣ таъсир мерасонад

● Ҳамчун ҷузъи муҳофизати қурбонӣ аз таъсири мустақими плазма хизмат мекунад

Дар таҷҳизоти пешрафтаи нимноқилҳо, ҳатто тағйироти ночиз дар шароити канорӣ метавонанд ба кори умумии раванд таъсири назаррас расонанд ва ҳалқаи сояро ба унсури калидӣ дар меъмории идоракунии раванд табдил диҳанд.

3. Вазифаҳои асосӣ ва таъсири раванд

Ҳалқаи сояафкани AMAT 0200-10243 дар таъмини якрангии равандҳо, устувории ҳосил ва назорати ифлосшавӣ нақши муҳим мебозад.

Муҳофизати канор

● Канорҳои вафлиро аз бомбаборони мустақими плазма муҳофизат мекунад

● Осеби канорҳо, сӯрохшавӣ ва профилҳои ғайримуқаррарии кандакориро кам мекунад

Беҳсозии тақсимоти плазма

● Зичии плазмаи маҳаллиро дар наздикии канори вафли танзим мекунад

● Пешгирӣ аз кандашавии аз ҳад зиёди канор ё аз ҳад зиёд ҷамъшавии он

Тақвияти якрангӣ

● Суръати кандакорӣ ва мувофиқати ғафсии плёнкаро дар саросари пластина беҳтар мекунад

● Минтақаҳои истисноии канорро кам мекунад

Назорати ифлосшавӣ

● Маҳсулоти иловагии раванд ва зарраҳоро сабт мекунад

● Хатари ифлосшавӣ ба сатҳҳои вафли фаъолро коҳиш медиҳад

Устувории раванд

● Шароити такроршавандаи равандро дар тӯли якчанд давра нигоҳ медорад

● Назорати сахттарро бар хосиятҳои CD (андозаи муҳим) ва филм дастгирӣ мекунад

4. Усулҳои маъмулии нокомӣ ва мулоҳизаҳои ивазкунӣ

Аз сабаби таъсири пайваста ба плазма, ҳарорати баланд ва газҳои реактивӣ, ҳалқаҳои соя ба таназзули тадриҷӣ дучор мешаванд. Фаҳмидани механизмҳои нокомӣ барои нигоҳ доштани устувории раванд муҳим аст.

Усулҳои маъмулии хатогиҳо:

① Эрозияи плазма

Талафоти маводи сатҳӣ, ки дар натиҷаи бомбаборони ион ба вуҷуд омадааст

Ба тағйироти андоза ва тағйирёбии рафтори плазма оварда мерасонад

2 Зангзании кимиёвӣ

Реаксия бо газҳои хашмгин (масалан, кимиёвии фторӣ)

Натиҷаҳо ноҳамвории сатҳ ва сустшавии сохторӣ мебошанд

③ Тавлиди зарраҳо

Микрошикофҳо ё вайроншавии сатҳ метавонанд зарраҳоро раҳо кунанд

Хатари ифлосшавиро зиёд мекунад ва ҳосилро кам мекунад

④ Ҷамъшавии таҳшинӣ

Ҷамъшавии маҳсулоти иловагии раванд (масалан, боқимондаҳои полимер)

Шароити маҳаллии раванд ва тақсимоти плазмаро тағйир медиҳад

⑤ Стресси гармӣ ва кафидан

Сикли такрории гармӣ метавонад боиси микрошикастаниҳо гардад

Бо мурури замон якпорчагии механикиро вайрон мекунад

Таъсири нокомӣ:

● Афзоиши олудашавии зарраҳо

● Тағйирёбии CD-и канорӣ ва нобаробарӣ

● Ҳосилнокии вафли камшуда

● Тағйири раванд ва кам шудани такрорпазирӣ

● Басомади нигоҳдории камераи зиёдшуда

Дар Semixlab Technology, мо ин мушкилотро тавассути ҳалли зерин ҳал мекунем:

● Интихоби маводи кварсии тозагии баланд барои кам кардани ифлосшавӣ

● Коркарди дақиқ барои таҳаммулпазирии андозаи сахт

● Коркарди сатҳии беҳтаршуда барои баланд бардоштани муқовимати плазма

● Маҳлулҳои иловагии пешрафтаи рӯйпӯшкунӣ (масалан, рӯйпӯши SiC) барои дароз кардани мӯҳлати хизмат ва кам кардани тавлиди зарраҳо

Оё шумо алтернативаи боэътимод ё такмили самаранокиро меҷӯед?

Ширкати Semixlab Technology ҳалли ҳалқаҳои сояафкан ва имконоти пешрафтаи рӯйпӯшкуниро, ки ба талаботи мушаххаси раванди шумо мутобиқ карда шудаанд, пешниҳод мекунад. Барои беҳтар кардани кори раванди нимноқилҳои худ имрӯз бо мо тамос гиред.