Сипари пошидани 150 мм

Шиелд 150MM Sputter Etch 0200-09083 як ҷузъи камераи нимноқилии дақиқ аст, ки барои системаҳои кандакории пошидани вафли 150 мм тарҳрезӣ шудааст. Ин сипар, ки дар дохили камераҳои коркарди плазма насб шудааст, дар ҳифзи сохторҳои дохилии камера аз таъсири мустақими плазма, зарраҳои пошидашуда ва маҳсулоти иловагии коркард нақши муҳим мебозад. Аз маводҳои нимноқилии тозагии баланд истеҳсол шудааст. Геометрияи оптимизатсияшудаи он ба назорати ҷамъшавии таҳшиншавӣ, нигоҳ доштани тозагии камера ва дастгирии шароити устувори плазма барои коркарди мунтазами вафли мусоидат мекунад. Ҳамчун як ҷузъи калидии муҳофизати камера, Шиелд 0200-09083 ба дароз кардани мӯҳлати хидмати таҷҳизот, кам кардани хатари ифлосшавӣ ва беҳтар кардани устувории умумии раванд мусоидат мекунад. Мо интизори гирифтани дархости шумо ҳастем.

Маълумоти умумӣ

Дастгоҳи пошидани SHIELD 150MM ETCH 0200-09083 ҷузъи муҳофизатии камера мебошад, ки дар системаҳои коркарди плазма насб карда шудааст, ки барои коркарди пошидани ...

Маълумоти асосии маҳсулот

Дар дохили модулҳои коркарди пошидани пошиш, сипар ҳамчун монеаи муҳофизатӣ амал мекунад, ки сахтафзори ҳассоси камераро аз таъсири плазма ва ҷамъшавии таҳшин ҷудо мекунад.

Ҳамчун як қисми меъмории дохилии камера, сипар ба нигоҳ доштани муҳити устувори коркард ва кори боэътимоди таҷҳизот мусоидат мекунад.

Функсия дар дохили таҷҳизоти нимноқилӣ

Дар дохили системаҳои коркарди пошидани чӯб, Shield 0200-09083 якчанд вазифаҳои муҳимро иҷро мекунад, ки мустақиман ба кори камера ва сифати коркарди пластина таъсир мерасонанд.

Ҳифзи палата

Сипар ҳамчун қабати муҳофизатии қурбонӣ амал мекунад, ки аз таъсири мустақими зарраҳои пошидашуда ва плазмаи реактивӣ ба деворҳои камера ва сахтафзори муҳим пешгирӣ мекунад.

Бо ҷаббида гирифтани таҳшиншавӣ ва таъсири плазма, он ба дароз кардани мӯҳлати хидматрасонии ҷузъҳои гаронбаҳои камера мусоидат мекунад.

Назорати зарраҳо ва таҳшиншавӣ

Ҳангоми равандҳои кандакорӣ бо пошидани маводи пошидашуда, зарраҳо ва таҳшиншавии мавод метавонанд дар дохили камера ҷамъ шаванд. Сипар қисми зиёди ин маводро ҷамъ мекунад ва ба инҳо мусоидат мекунад:

● Кам кардани тавлиди зарраҳо

● Тозагии камераро беҳтар кунед

● Нигоҳ доштани шароити устувори раванд

Устуворкунии сарҳади плазма

Геометрияи физикии сипар барои муайян кардани минтақаи плазма дар дохили камера кӯмак мекунад. Ин ба тақсимоти устувори ионҳо ва самаранокии доимии раванд мусоидат мекунад.

Ҳифзи ҷузъҳои асосӣ

Сипар барои муҳофизат кардани унсурҳои ҳассоси камера, ба монанди:

● Патронҳои электростатикӣ

● Маҷмӯаҳои гармкунак

● Лайнерҳои камера

● Сохторҳои тақсимоти газ

Бо маҳдуд кардани таъсири мустақими плазма, сипар кори боэътимоди таҷҳизотро дар муддати тӯлонӣ дастгирӣ мекунад.

Мавод ва бартариятҳо

Сипари Sputter Etch 0200-09083 одатан аз кварси гудохташудаи тозагии баланд истеҳсол мешавад, ки маводест, ки дар таҷҳизоти нимноқилӣ ба таври васеъ истифода мешавад, зеро он дар муҳитҳои плазмавӣ самаранокии аъло дорад.

Афзалиятҳои кварси тозагии баланд

Муқовимати плазмаи аъло: Кварц ба бомбаборони ионҳо ва эрозияи плазма муқовимати қавӣ нишон медиҳад, ки ба он имкон медиҳад, ки ба таъсири тӯлонии равандҳои пошидан тоб оварад.

Хатари олудашавии хеле кам: Кварси дараҷаи нимноқил дорои ифлосҳои металлии хеле кам мебошад, ки ба кам кардани ифлосшавии зарраҳо ҳангоми коркарди вафл мусоидат мекунад.

Устувории аълои гармӣ: Кварси гудохташуда якпорчагии сохтории худро дар ҳарорати баланд ва даври босуръати гармӣ, ки одатан дар камераҳои плазмавӣ дучор мешавад, нигоҳ медорад.

Изолятсияи барқ: Кварц як маводи изолятсионии барқӣ аст, ки ба нигоҳ доштани майдонҳои электрикии устувор мусоидат мекунад ва якрангии плазмаро дар дохили камераи коркард беҳтар мекунад.

Мутобиқати кимиёвӣ: Кварц ба газҳои реактивӣ, ки дар равандҳои коркарди пошидани металл истифода мешаванд, муқовимати қавӣ нишон медиҳад, ки устувории дарозмуддат ва таназзули ҳадди ақалро таъмин мекунад.

Ин хосиятҳои мавод кварцро барои ҷузъҳои камераи нимноқилҳои дар плазма дучоршуда интихоби беҳтарин мегардонанд.