EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Сипар ва пардаи кварсии ношаффофи баландсифат барои MOCVD
Ҷузъҳои Opaque Quartz бо тозагии баланд барои равандҳои нимноқилии MOCVD, аз ҷумла масолеҳи муҳими истеъмолӣ, ба монанди сипарҳои гармӣ ва пардаҳои дақиқ, тарҳрезӣ шудаанд. Бо истифода аз механизми беназири дохилии парокандагии микроҳубобчаҳо, ин ҷузъҳо радиатсияи гармии маҳаллишударо ба радиатсияи сатҳи хеле якхелаи инфрасурхи дур табдил медиҳанд ва якрангии қабати эпитаксиалиро ба таври назаррас беҳтар мекунанд. Бо тозагии ≥99.999% ва коэффитсиенти хеле пасти васеъшавии гармӣ, онҳо муҳофизати гармии аълоро дар ҳарорати болотар аз 1100℃ таъмин мекунанд ва дар айни замон истеъмоли энергияро кам мекунанд ва аз ифлосшавии металлӣ пешгирӣ мекунанд - онҳоро ба як роҳи ҳалли беҳтарин ва арзон барои хатҳои истеҳсолии ҳаҷми баланд табдил медиҳанд.
Тавсифи
Сохтори микро: Сохтори зичии микроҳубобӣ самаранокии аълои парокандашавии гармиро таъмин мекунад.
Кварси ношаффоф: "Монеаи ягонаи ҳарорат" барои равандҳои MOCVD
Кварси шаффофи мо бо сифати баланд гудохташуда нисбат ба маводи стандартии кварс хеле бештар аст. Он тавассути раванди махсуси гудохта истеҳсол мешавад, ки ҳаҷми зиёди ҳубобчаҳои якхеларо бо диаметрҳои дақиқ аз 10 то 100 мкм ба вуҷуд меорад. Ин ҳубобчаҳо асоси кори истисноии гармидиҳии ин мавод мебошанд:
● Табдилдиҳии парокандагии инфрасурх ва дур-инфрасурх (FIR):
Радиатсияи ибтидоӣ аз унсурҳои гармидиҳии MOCVD (масалан, риштаҳои волфрам ё графит) асосан аз нури наздики инфрасурх (NIR) иборат аст. Кварси шаффоф қариб пурра ба NIR гузаранда аст, ки боиси консентратсияи маҳаллии гармӣ ва "нуқтаҳои гарм" дар зеризаминӣ мегардад. Ҳубобчаҳои дохилӣ дар кварси ношаффоф инъикосҳои бешумори дохилӣ ва парокандагиро осон мекунанд ва воридшавии мустақими NIR-ро самаранок манъ мекунанд. Гармӣ ҳамчун радиатсияи сатҳии якхелаи дури инфрасурх (FIR) ҷаббида ва дубора паҳн мешавад. Ин табдилдиҳӣ майдони гармии хеле якхеларо дар дохили камераи MOCVD таъмин мекунад, ки барои ба даст овардани қабатҳои эпитаксиалии якхела ва босифат муҳим аст.
● Таркиби ултра-баланд покӣ ва пасти гидроксил (OH):
For front-end semiconductor processes, we strictly control SiO2 purity at the 5N (99.999%) level and maintain Hydroxyl (OH) content at < 5ppm. This ensures that in high-vacuum environments exceeding 1000℃, no harmful metallic ions or moisture are released, protecting the integrity of sensitive quantum well structures.
| элемент | Мундариҷаи маъмулӣ (ppm) | Усули муайян |
| Алюминий (Ал) | <15 | ICP-OES |
| Кальций (Ca) | <1.0 | ICP-OES |
| Оҳан (Fe) | <0.5 | ICP-OES |
| Натрий (Na) | <1.0 | ICP-OES |
| Гидроксил (OH) | <5 | FTIR |
| Покии комил | ≥99.999% | Ҳисоб карда шудааст |
Барномаҳо
Сенарияҳои маъмулии татбиқ
Ҷузъҳои кварсии ношаффофи мо на танҳо ивазкунандаҳо мебошанд; онҳо роҳҳои ҳалли барои мушкилоти мушаххаси коркарди гармӣ оптимизатсияшуда мебошанд.
Сенарияи А: Ҳимояи камераи MOCVD барои нимноқилҳои мураккаб (GaN, SiC)
● Нуқтаи дард: Ҳангоми афзоиши GaN ё SiC, ҳарорати баланд ва ҷараёни прекурсорҳои зангзананда (ба монанди Аммоний NH3 ва TMGa) боиси ҷамъшавии зиёди маҳсулоти иловагӣ дар деворҳои гаронбаҳои камера ва гармкунакҳои графитӣ мегарданд. Ин боиси қатъ шудани зуд-зуди нигоҳдории пешгирикунанда (PM) ва афзоиши арзиши моликият (CoO) мегардад.
● Ҳалли масъала: Истифодаи кварси ношаффофи баландсифат ҳамчун сипари гармӣ (қабати камеравӣ) "қабати қурбонии арзон"-ро фароҳам меорад. Ҳангоми ҷамъоварии пасмондаҳо, изолятсияи олии он деворҳои камераи пӯлоди зангногирро муҳофизат мекунад ва давраи PM-ро беш аз 30% дароз мекунад.
Сенарияи B: Идоракунии интерфейс дар сохторҳои чоҳи бисёрквантӣ (MQW)
● Нуқтаи дард: Сохтани сохторҳои ултра тунуки MQW барои LED ё лазерҳо дақиқии сатҳи атомиро дар гузариши гази пешакӣ талаб мекунад. Ҳар гуна деформатсияи гармӣ ё таъхири механикӣ дар парда боиси "Васеъшавии интерфейс" мегардад, ки кори оптоэлектронии дастгоҳро ба таври назаррас коҳиш медиҳад.
● Ҳалли масъала: Пардаҳои кварсии дақиқи мо аз коэффитсиенти хеле пасти васеъшавии гармии кварси ношаффоф истифода мебаранд. Ин ҳамвории комил ва устувории сохториро ҳангоми гузариши баландсуръат ва даври босуръати гармӣ таъмин мекунад ва "Идоракунии воқеии қабати атомӣ"-ро имконпазир мегардонад.
