0200-10246 Кварс ГДП (Плитаи тақсимоти газ)

AMAT 0200-10246 Quartz GDP (Плитаи тақсимоти газ) як ҷузъи кварсии гудохташудаи дақиқи баланд мебошад, ки барои таъмини тақсимоти ягонаи газ ва таъсири мутақобилаи плазмавии назоратшаванда дар таҷҳизоти коркарди нимноқилҳо тарҳрезӣ шудааст. Он одатан ҳамчун лайнери Uni-Insert бо нақшаи 88-сӯрохӣ танзим карда мешавад ва ҳамчун интерфейси муҳим байни системаҳои интиқоли гази раванд ва минтақаи реаксияи плазма амал мекунад.

Ин ҷузъ, ки барои барномаҳои пешрафтаи коркарди плазма ва CVD тарҳрезӣ шудааст, дар шароити шадид, аз ҷумла: кор мекунад.

● Таъсири плазмаи баландэнергия

● Газҳои раванди реактивӣ (масалан, кимиёвии фтор ва хлор)

● Муҳитҳои даврзании гармии баланд

● Талаботи қатъии якрангии раванд

Бар хилофи қисмҳои муҳофизатии камераи ғайрифаъол, Quartz GDP як ҷузъи муҳими раванд аст, ки мустақиман ба якрангии ҷараёни газ, тақсимоти зичии плазма ва назорати андозаи муҳим (CD) таъсир мерасонад.

Дар Semixlab Technology, вурудҳои Quartz GDP-и мо бо истифода аз кварси гудохташудаи ултра-баландсифат, дар якҷоягӣ бо коркарди дақиқи сӯрохиҳо ва назорати қатъии сифат истеҳсол карда мешаванд, ки кори доимӣ ва такроршавандаро дар равандҳои серталаби нимноқилҳо таъмин мекунад.

Мавқеъ дар таҷҳизот ва нақшҳои функсионалӣ

Мавқеи насб

ГДП-и Кварц одатан насб карда мешавад:

● Дар қисми болоии камераи коркард

● Дар дохили ё зери сохтори сарпӯши душ

● Мустақиман дар болои сатҳи вафл, рӯ ба минтақаи плазма

Он ҳамчун интерфейси асосӣ барои воридшавии газ ба минтақаи плазма амал мекунад.

Вазифаҳои асосӣ

1. Тақсимоти якхелаи газ (Функсияи асосӣ)

● Нақшаи дақиқи 88-сӯрохӣ кафолат медиҳад, ки:

● Тақсимоти якхелаи газҳои равандӣ дар саросари пластина

● Суръат ва самти ҷараёни гази назоратшаванда

Натиҷа: Беҳтар шудани якрангии плазма ва суръати устувори кандакорӣ/ҷойгиркунӣ дар саросари пластина.

2. Ташаккули плазма ва назорати устуворӣ

Бо танзими тарзи воридшавии газҳо ба минтақаи плазма, ММД:

● Таъсири оташгирӣ ва устувории плазма

● Тақсимоти зичии плазмаро шакл медиҳад

Таъсир: Устувории раванд беҳтар шуд ва тағирёбии байни пластинаҳо кам шуд.

3. Ягонагии раванд ва назорати CD

Геометрия ва тарҳи сӯрохиҳо мустақиман ба инҳо таъсир мерасонанд:

● Тақсимоти ион ва радикалӣ

● Кинетикаи реаксия дар сатҳи вафли

Бартарӣ: Профили беҳсозии кандакорӣ, якрангии CD ва такроршавандагии вафл ба вафл.

4. Ҳифзи камера ва назорати ифлосшавӣ

Ҳамчун лайнери кварсӣ, ММД инчунин:

● Қисмҳои сарпӯши души металлиро аз таъсири плазма муҳофизат мекунад

● Хатари ифлосшавии металлиро коҳиш медиҳад

Усулҳои нокомии умумӣ

Аз сабаби таъсири мустақими он ба плазма ва газҳои реактивӣ, GDP-и Quartz ба якчанд механизмҳои таназзули маҳдудкунандаи фаъолият дучор мешавад:

1. Басташавии сӯрохиҳо (Чопшавии маҳсулоти иловагӣ)

● Полимер ё маҳсулоти иловагии реаксия дар дохили сӯрохиҳо ҷамъ мешаванд

● Ҷараёни газ кам ё нобаробар

Таъсир: Аз даст додани якрангии тақсимоти газ ва ноустувории раванд.

2. Эрозияи аз плазма ба вуҷудомада

● Бомбгузории ионӣ диаметри сӯрохиҳоро зиёд мекунад

● Ноҳамвории сатҳ динамикаи ҷараёнро тағйир медиҳад

Таъсир: Тағйирот дар тақсимоти зичии плазма ва дрейфи CD.

3. Порашавӣ ва пайдоиши зарраҳо

● Плёнкаҳои гузошташуда бо мурури замон канда мешаванд

● Зарраҳо ба муҳити камера ворид мешаванд

Таъсир: Зичии камбудӣ ва талафоти ҳосил афзоиш меёбад.

4. Шикастани фишори гармӣ

● Сикли такрории гармӣ боиси пайдоиши микротарқишҳо мегардад

● Якпорчагии сохторӣ бо мурури замон суст мешавад

Таъсир: Нокомии ҷузъҳо ва қатъи ногаҳонии корношоямӣ.

5. Ҷараёни газ

● Фарсудашавии дарозмуддат геометрияи дохилиро тағйир медиҳад

● Тағйири тадриҷӣ дар тақсимоти ҷараёни газ

Таъсир: Рафъи нозук, вале муҳими раванд, ки ташхисаш душвор аст.

Чаро технологияи Semixlab-ро интихоб кунед?

Бо таҷрибаи васеъ дар масолеҳи нимноқилӣ ва истеҳсоли дақиқи кварс, Semixlab Technology ҳалли баландсифати Quartz GDP-ро, ки барои муҳитҳои пешрафтаи плазма мутобиқ карда шудааст, пешниҳод мекунад:

● Кварси ултра-баландсифати покӣ: Ифлосшавии кам ва таъсири мутақобилаи устувори плазмаро таъмин мекунад.

● Коркарди дақиқи бисёрсӯрохӣ: Андозаи дақиқи сӯрох, фосила ва геометрия барои тақсимоти оптималии газ.

● Беҳсозии сатҳ: Ба ҳадди ақал расонидани зарраҳо ва беҳтар кардани тозагии раванд.

● Иҷрои дарозмуддати дароз: Муқовимати беҳтаршуда ба эрозияи плазма ва стресси гармӣ.

● Тарроҳии мувофиқ бо OEM: Ҳамгироии бефосила бо системаҳои AMAT ва шароити раванд.

AMAT 0200-10246 Quartz GDP ба таври васеъ дар соҳаҳои зерин истифода мешавад:

● Маводҳои истифодашуда Системаҳои плазмавии 200 мм

● Камераҳои коркарди CVD ва PECVD

● Равандҳои истеҳсоли нимноқилҳои якхелаи баланд

Ин махсусан дар барномаҳое, ки назорати қатъии равандро талаб мекунанд, муҳим аст, аз ҷумла:

● Кандакорӣ кардани гиреҳҳои пешрафта

● Истеҳсоли нимноқилҳои барқӣ (SiC, IGBT)

● MEMS ва истеҳсоли дастгоҳҳои махсус