Диски графити 8-дюйма барои SiC Epitaxy

Диски графити 8-дюйма барои SiC Epitaxy барои таъмини дастгирии устувор ва такроршаванда барои афзоиши эпитаксиалии карбиди кремний дар пластинаҳои диаметри калон тарҳрезӣ шудааст. Ҳангоми гузариши равандҳои эпитаксиалии карбиди кремний аз истеҳсоли 6-дюйма ба 8-дюйма, якрангии майдони гармӣ ва устувории сохтории пластина муҳимтар мегардад. Ин диски графитӣ як ҷузъи муҳими системаи идоракунии гармии реактор буда, муҳити гармии назоратшаванда ва якрангро таъмин мекунад, ки мустақиман ба якрангии ғафсии қабати эпитаксиалӣ, тақсимоти иловагиҳо ва такроршавандагии умумии раванд таъсир мерасонад.

Ин мавод, ки аз графити изостатикии тозагии баланд истеҳсол шудааст, барои гузаронандагии гармии истисноӣ, хосиятҳои физикии изотропӣ ва миқдори ками ифлосӣ интихоб шудааст. Сохтори изостатикӣ зичии доимӣ ва вокуниши гармиро дар тамоми диапазони диаметри 8 дюйм таъмин мекунад ва градиентҳои ҳарорати радиалӣ ва деформатсияи механикиро ҳангоми кори доимии ҳарорати баланд ба ҳадди ақал мерасонад. Дар равандҳои маъмулии SiC CVD ва MOCVD, ки дар онҳо ҳарорати афзоиш аксар вақт аз 1600°C зиёд аст ва даври босуръати гармӣ маъмул аст, диски графитӣ ҳамворӣ ва устувории андозаро нигоҳ медорад. Ин имкон медиҳад, ки дар тамоми давраи эпитаксиалӣ мавқеи боэътимоди вафлҳо ва интиқоли якхелаи гармӣ таъмин карда шавад.

Аз нигоҳи раванд, диски графити 8-дюйма дар муайян кардани шароити марзии гармӣ дар интерфейси вафли-субстрат нақши ҳалкунанда мебозад. Бо таъмини ҷараёни гармии пешгӯишаванда ва якхела, он ба коҳиш додани таъсири ғелонидани канорҳо мусоидат мекунад, нуқсонҳои аз стресс ба вуҷуд омадаро коҳиш медиҳад ва имкон медиҳад, ки ғафсии қабати эпитаксиалӣ дар тамоми сатҳи вафли сахттар назорат карда шавад. Покии баланди субстрати графит хатари ифлосшавии металл ва воридшавии ифлосшавии заминаро минбаъд кам мекунад, ки барои эпитаксии SiC дараҷаи дастгоҳҳои барқӣ, ки зичии пасти нуқсон ва консентратсияи баланди электрикиро талаб мекунад, муҳим аст.

Ҳамчун истеҳсолкунанда ва таъминкунандаи пешбари чинии ҷузъҳои эпитаксиалӣ, диски графити 8-дюймаи Semixlab барои SiC Epitaxy махсус барои муҳитҳои истеҳсоли эпитаксиалии SiC тарҳрезӣ шудааст. Бо омезиши графити изостатикии тозагии баланд бо коркарди дақиқ ва назорати қатъии сифат, ин маҳсулот устуворӣ, тозагӣ ва такрорпазирии заруриро барои эпитаксии 8-дюймаи SiC ҳаҷми баланд таъмин мекунад. Ин суръати ҳосилнокиро афзоиш медиҳад, вақти кори таҷҳизотро ба ҳадди аксар мерасонад ва арзиши умумии моликиятро коҳиш медиҳад. Ҳамзамон, Semixlab ба пешниҳоди хидматрасонии пешбари машваратии техникӣ ва ҳалли маҳсулоти фармоишӣ содиқ мемонад. Мо самимона интизори шарики дарозмуддати шумо дар Чин ҳастем.