EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Тигели таркибии карбон карбон
Crucible Composite Carbon Carbon (C/C Crucible) аз Semixlab барои муҳитҳои серталаб дар афзоиши кристаллҳои нимноқил ва коркарди эпитаксиалӣ тарҳрезӣ шудааст. Crucible Carbon Composite Semixlab бо истифода аз нахҳои карбонии модули баланд ва матритсаҳои карбонии тозаи баланд тарҳрезӣ шуда, ба даст овардани профили иҷроиш барои афзоиши кремнийи CZ, эпитаксияи кремний ва афзоиши сублиматсияи SiC PVT пешбинӣ шудааст. Новобаста аз он ки барои фабрикҳои вафли кремний, ки якрангии зарфҳоро афзоиш медиҳанд, истеҳсолкунандагони эпитаксия якрангии таҳшинкуниро оптимизатсия мекунанд ва ё истеҳсолкунандагони SiC, ки ба бугҳои диаметри калонтар мегузаранд, Crucible Composite Carbon Carbon барои истеҳсоли муосири нимноқилҳо заминаи мустаҳкам ва кам ифлоскунанда фароҳам меорад.
Тавсифи
Дар афзоиши кристаллҳои кремний (раванди Чочральски), тигели C/C асосан ҳамчун дастгирии сохторӣ ва унсури устувори гармидиҳӣ дар атрофи тигели ботинии омехтаи кремний истифода мешавад. Тавсеаи гармии пасти он, қувваи баланди механикӣ ва муқовимати аълои зарбаи гармӣ барои нигоҳ доштани геометрияи тигел дар давоми давраҳои тӯлонии кашидан, коҳиш додани деформатсияи кварц ва имкон додани градиентҳои якхелаи ҳарорат кӯмак мекунад. Ин бевосита ба беҳтар шудани назорати дислокатсия, мӯҳлати дарозтари истифодашавандаи тигелҳои кварц ва якрангии мукаммал дар ҳосили кремнийи монокристаллӣ мусоидат мекунад.
Дар дохили системаҳои эпитаксионии кремний ва SiC, Crucible Composite Carbon Carbon ҳамчун як интиқолдиҳандаи устувори ҳарорати баланд ва ҷузъҳои идоракунии гармидиҳӣ хидмат мекунад, ки ҳассосиятҳо ва сохторҳои нигоҳдории вафлиро дастгирӣ мекунад. Қобилияти композитсия барои нигоҳ доштани сахтӣ ва беэътибории кимиёвӣ дар муҳити гидроген, хлордор ё вакуумӣ барои кам кардани ифлосшавӣ ва ноил шудан ба иҷрои пешгӯии гармидиҳӣ муҳим аст. Дар натиҷа ғафсии қабати эпитаксиалӣ пайваста, сифати баландтари сатҳи дастгоҳ ва вақти кори реактор беҳтар мешавад.
Барои афзоиши монокристаллҳои SiC бо истифода аз интиқоли физикии буғ (PVT), тигели C/C ҷузъи асосии камераи сублиматсия мегардад. Қобилияти фавқулоддаи гармии композитҳои карбон-карбон, ки дар атмосфераи инертӣ аз 2200 ° C зиёд аст, ба тигель имкон медиҳад, ки ба давраҳои тӯлонии сублиматсия тоб оварда, майдони гармии устуворро барои коҳиш додани нуқсонҳо дар буғҳои SiC муҳим нигоҳ дорад. Мазмуни наҷосати ками он ва тавлиди ҳадди ақалли зарраҳо хатари ногаҳонии допинг ва паҳншавии микроқубурҳоро коҳиш дода, истеҳсоли кристаллҳои баландсифати 4H ва 6H SiC-ро, ки дар электроникаи пешрафтаи энергетикӣ истифода мешаванд, дастгирӣ мекунад.
Тигели Semixlab C/C, ки барои маводи нимноқилҳои насли оянда тарҳрезӣ шудааст, имкон медиҳад, ки ҳосилнокии баландтар, мӯҳлати дарозтари асбобҳо ва сифати олии кристалл дар платформаҳои сершумори истеҳсолӣ бошад. Crucible Carbon Composite Semixlab бо назорати қатъии раванд, аз ҷумла интихоби прекурсорҳои тозаи баланд, зичии бисёрқадам ва коркарди хусусии рӯизаминӣ истеҳсол карда мешавад. Дар натиҷа тигел бо устувории аълои андоза, муқовимати афзояндаи оксидшавӣ ва ба таври назаррас коҳиш додани партови зарраҳо дар муқоиса бо алтернативаҳои стандартии графит мебошад. Ҳар як маҳсулот аз санҷиши дақиқ ва санҷиши гармӣ-механикӣ мегузаранд, то иҷрои доимиро дар кашандаҳои саноатии CZ, реакторҳои амудӣ/уфуқии эпитаксия ва оташдонҳои SiC PVT таъмин кунанд.
Хизматрасониҳо мо
Дӯкони маҳсулоти Semixlab
