Ҳалқаи фишанг 0200-15001

Ҳалқаи фишурдакунандаи AMAT 0200-15001 яке аз ҷузъҳои калидии сохторӣ дар камераҳои таҷҳизоти нимноқилҳои Applied Materials (AMAT) мебошад. Он як ҷузъи сафолии фишурдакунӣ/фишурдасозии алюминийи тозаи баланд (Al₂O₃) мебошад, ки ба таври васеъ дар модулҳои равандҳои таҳшинкунӣ ва кандакорӣ истифода мешавад. Арзиши асосии он на дар иштироки мустақим дар реаксияҳо, балки дар нигоҳ доштани устувории сохтории камера ва мутобиқати муҳити раванд аст.

1. Шарҳи маҳсулот ва хосиятҳои мавод (Al₂O₃)

● Номи маҳсулот: Ҳалқаи фишанги AMAT 0200-15001

● Категория: Ҳалқаи фишанги сафолии камера / Қисмати фишанги камера

● Мавод: Сафолии алюминийи тозаи баланд (Al₂O₃)

2. Вазифаҳои асосӣ дар таҷҳизоти нимноқилӣ

Дар дохили сохтори камераи AMAT, ин ҳалқаи фишанг асосан вазифаҳои маҳдудкунии механикӣ ва таъмини устувории равандро иҷро мекунад:

① Фикти сохторӣ ва қулфи камера

Барои мустаҳкам кардани ҷузъҳои муҳими камера, аз ҷумла: истифода мешавад.

●Кварс (ҷузъҳои кварсӣ)

●Лайнер (астарпӯши камера)

●Ҳалқаи канорӣ (сохтори ҳалқаи канорӣ)

●Душ сарпӯш (сохтори тақсимоти газ)

Часпиши дақиқ аз номувофиқатии сохторӣ, ки дар натиҷаи васеъшавии гармӣ ё фишори вакуум ба вуҷуд меояд, пешгирӣ мекунад.

2 Назорати якрангии плазма

Дақиқии геометрии ҳалқаи фишанг мустақиман ба инҳо таъсир мерасонад:

●Симетрияи тақсимоти майдони электрикӣ

●Ягонагии зичии плазма

●Имконияти назорати таъсири канорӣ

Ин махсусан барои равандҳои пешрафта (≤28 нм) муҳим аст.

③ Назорати зарраҳо ва кафолати ҳосилнокӣ

Устувории сохторӣ микроларзишҳо ва соишро коҳиш медиҳад ва бо ин васила ба ҳадди ақал мерасонад:

●тавлидёбии микрозарраҳо

● олудашавии канори вафл

●тағйирёбии зичии нуқсонҳо

3. Усулҳои маъмулии нокомӣ (Таҳлили нокомӣ)

Бар асоси таҷрибаи Semixlab дар нигоҳдорӣ ва таъмири таҷҳизот, ҳолатҳои маъмулии нокомӣ барои ин намуди ҳалқаи фишанги Al₂O₃ инҳоянд:

① Эрозияи плазма

Таъсири дарозмуддати муҳити реактивии газ ба инҳо оварда мерасонад:

●Саҳмноккунии сатҳ

●Пошидани мавод

● Афзоиши ихроҷи зарраҳо

2 Шикастани фишори гармӣ

Аз сабаби тағйироти босуръати ҳарорат (сикли гармӣ):

●Ташаккул ва паҳншавии микрошикофҳо

●Коҳиш ёфтани мустаҳкамии сохторӣ

●Хатари эҳтимолии шикастани устухон

③ Буридани канорҳо

Одатан дар ҳолатҳои зерин мушоҳида мешавад:

●Фишори нобаробари насб

●Идоракунии нодурусти моменти гардиш

● Таъсири механикӣ

④ Нокомӣ дар хориҷшавии зарраҳо

Баровардани зарраҳои Al₂O₃ пас аз вайроншавии сатҳ:

● Афзоиши суръати нуқсони вафл

●Танг шудани равзанаи раванд

⑤ Дрифти андозагирӣ

Тағйироти сохтории микро, ки дар натиҷаи боркунии дарозмуддати гармӣ ба вуҷуд меоянд:

●Коҳиш ёфтани дақиқии ҳамоҳангсозӣ

●Муҳкамкунии камера бад шудааст